| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外进展情况 | 第11-13页 |
| 1.3 本论文的主要内容 | 第13-15页 |
| 第二章 纳米 TiO_2薄膜材料的制备及表征 | 第15-30页 |
| 2.1 TiO_2纳米薄膜的晶体结构 | 第15-18页 |
| 2.2 TiO_2纳米材料的应用 | 第18页 |
| 2.3 LaAlO_3的晶体结构 | 第18-19页 |
| 2.4 TiO_2溶胶凝胶以及纳米薄膜的制备 | 第19-22页 |
| 2.4.1 TiO_2溶胶凝胶的制备 | 第19-21页 |
| 2.4.2 TiO_2纳米薄膜的制备 | 第21-22页 |
| 2.5 TiO_2纳米薄膜及 LaAlO_3晶体的表征 | 第22-30页 |
| 2.5.1 TiO_2纳米薄膜的表征 | 第22-28页 |
| 2.5.2 LaAlO_3晶体的表征 | 第28-30页 |
| 第三章 TiO_2/LaAlO_3基紫外探测器的制作 | 第30-38页 |
| 3.1 紫外探测器的分类 | 第30-35页 |
| 3.2 MSM 型紫外探测器的制作 | 第35-38页 |
| 3.2.1 光刻 | 第35-36页 |
| 3.2.2 磁控溅射 | 第36-37页 |
| 3.2.3 电极剥离 | 第37-38页 |
| 第四章 紫外探测器光电性能的测试 | 第38-48页 |
| 4.1 LaAlO_3基紫外探测器的研制 | 第38-40页 |
| 4.1.1 LaAlO_3基紫外探测器暗电流的测试 | 第38-39页 |
| 4.1.2 LaAlO_3基紫外探测器光电流以及响应度的测试 | 第39-40页 |
| 4.2 TiO_2/LaAlO_3基紫外探测器的研制 | 第40-45页 |
| 4.2.1 TiO_2/LaAlO_3基紫外探测器 I-V 特性的测试 | 第40-43页 |
| 4.2.2 TiO_2/LaAlO_3基紫外探测器响应度的测试 | 第43-44页 |
| 4.2.3 TiO_2/LaAlO_3基紫外探测器响应时间的测试 | 第44-45页 |
| 4.3 叉指间距对探测器光电流及响应度的影响 | 第45-48页 |
| 第五章 总结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 作者简介及学习期间所取得的科研成果 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
