空气耦合式电容微超声换能器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 空气耦合式超声换能器发展与研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 空气耦合式压电超声换能器 | 第10-12页 |
| 1.2.2 电容式微超声换能器 | 第12-16页 |
| 1.3 研究内容与文章组织结构 | 第16-19页 |
| 第2章 空气耦合式CMUT性能分析 | 第19-39页 |
| 2.0 CMUT结构与工作原理 | 第19-20页 |
| 2.1 不同振膜形貌的CMUT频率模型 | 第20-28页 |
| 2.1.1 圆形振膜CMUT | 第20-22页 |
| 2.1.2 方形振膜CMUT | 第22-25页 |
| 2.1.3 椭圆形振膜CMUT | 第25-27页 |
| 2.1.4 有限元仿真分析及频率模型验证 | 第27-28页 |
| 2.2 电极对CMUT谐振频率的影响 | 第28-30页 |
| 2.3 带孔振膜CMUT频率特性分析 | 第30-35页 |
| 2.3.1 圆形带孔振膜CMUT的频率特性分析 | 第31-33页 |
| 2.3.2 方形带孔振膜CMUT的频率特性分析 | 第33-34页 |
| 2.3.3 椭圆形带孔振膜CMUT的频率特性分析 | 第34-35页 |
| 2.4 直流偏置电压对CMUT谐振频率的影响分析 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 空气耦合式CMUT阵列设计 | 第39-53页 |
| 3.1 阵元优化设计与建模 | 第39-44页 |
| 3.1.1 声场指向性理论分析 | 第39-41页 |
| 3.1.2 阵元设计及声场对比分析 | 第41-44页 |
| 3.2 CMUT阵列优化分析 | 第44-48页 |
| 3.2.1 阵列参数优化 | 第44-46页 |
| 3.2.2 稀疏阵列设计 | 第46-47页 |
| 3.2.3 激励条件优化 | 第47-48页 |
| 3.3 一维线性阵列声场仿真及成像分析 | 第48-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 空气耦合式CMUT加工与性能测试 | 第53-75页 |
| 4.1 CMUT的加工制造 | 第53-55页 |
| 4.2 静态形貌测试分析 | 第55-57页 |
| 4.3 残余应力测试分析 | 第57-59页 |
| 4.4 阻抗测试与校准 | 第59-61页 |
| 4.5 谐振特性测试分析 | 第61-65页 |
| 4.5.1 显微激光多普勒测振系统搭建 | 第61-64页 |
| 4.5.2 CMUT谐振特性测量与分析 | 第64-65页 |
| 4.6 CMUT阵元一致性分析 | 第65-67页 |
| 4.6.1 CMUT阵元一致性检验方法 | 第65-66页 |
| 4.6.2 CMUT阵元一致性分析 | 第66-67页 |
| 4.7 声学性能测试分析 | 第67-73页 |
| 4.7.1 发射性能测试分析 | 第68-71页 |
| 4.7.2 接收性能测试分析 | 第71-73页 |
| 4.8 本章小结 | 第73-75页 |
| 第5章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 5.1 全文总结 | 第75-76页 |
| 5.2 工作展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
