基于双波长数字全息术的三维形貌测量技术研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 表面形貌检测的意义及发展状况 | 第11-16页 |
| 1.1.1 形貌检测的意义 | 第11-12页 |
| 1.1.2 形貌检测的发展现状 | 第12-16页 |
| 1.2 双波长数字全息术的研究背景及研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 双波长数字全息术的研究背景 | 第16-17页 |
| 1.2.2 全息干涉测量技术的发展 | 第17页 |
| 1.2.3 双波长数字全息术的国内外研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 本论文的意义与主要内容 | 第20-21页 |
| 1.4 本章小结 | 第21-23页 |
| 第二章 数字全息术的基础理论 | 第23-37页 |
| 2.1 数字全息术的基本理论 | 第23-30页 |
| 2.1.1 干涉记录过程 | 第23-24页 |
| 2.1.2 衍射再现过程 | 第24-28页 |
| 2.1.3 数字全息的步骤流程 | 第28-30页 |
| 2.2 消除波面重建噪声 | 第30-33页 |
| 2.2.1 数字相减法 | 第30-31页 |
| 2.2.2 平均值法 | 第31-32页 |
| 2.2.3 频域滤波法 | 第32-33页 |
| 2.3 离轴全息的参数条件 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 双波长解包裹原理及数值模拟 | 第37-57页 |
| 3.1 数字全息三维形貌测量原理 | 第37-38页 |
| 3.2 双波长解包裹原理 | 第38-41页 |
| 3.2.1 单波长解包裹原理 | 第38-39页 |
| 3.2.2 双波长解包裹原理 | 第39-41页 |
| 3.3 双波长数字全息的数值仿真 | 第41-49页 |
| 3.3.1 对斜面面型的模拟仿真 | 第42-45页 |
| 3.3.2 对曲面面型的模拟仿真 | 第45-47页 |
| 3.3.3 对阶梯型面型的模拟仿真 | 第47-49页 |
| 3.4 噪声对双波长全息测量结果影响的数值仿真 | 第49-56页 |
| 3.4.1 高斯噪声 | 第49-53页 |
| 3.4.2 椒盐噪声 | 第53-56页 |
| 3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 基于双波长数字全息术的形貌测量实验 | 第57-81页 |
| 4.1 实验光路设计及器件选择 | 第57-62页 |
| 4.1.1 实验光路设计 | 第57-58页 |
| 4.1.2 实验仪器选择 | 第58-60页 |
| 4.1.3 实验步骤 | 第60-62页 |
| 4.2 透射型双波长数字全息干涉实验及分析 | 第62-70页 |
| 4.2.1 实验光路搭建和调节 | 第62-63页 |
| 4.2.2 测量结果及分析 | 第63-70页 |
| 4.3 反射型双波长数字全息干涉实验及分析 | 第70-73页 |
| 4.3.1 实验光路的搭建和调节 | 第70页 |
| 4.3.2 测量结果及分析 | 第70-73页 |
| 4.4 激光器波长漂移对实验结果的影响 | 第73-78页 |
| 4.5 环境因素对测量结果的影响 | 第78-79页 |
| 4.6 本章小结 | 第79-81页 |
| 第五章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 5.1 论文所完成的主要工作 | 第81-82页 |
| 5.2 工作展望与计划 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第88页 |
