射频辉光放电等离子体风速测量关键技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 缩略词 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 等离子体风速计综述 | 第14-21页 |
| 1.3.1 等离子体简述 | 第14-15页 |
| 1.3.2 等离子体实现 | 第15-16页 |
| 1.3.3 辉光放电结构和分布 | 第16-18页 |
| 1.3.4 大气压下的辉光放电 | 第18-21页 |
| 1.3.5 等离子体风速计测速原理 | 第21页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 等离子体风速计数值模拟理论 | 第23-37页 |
| 2.1 数值模拟的意义 | 第23页 |
| 2.2 等离子体模拟发展现状 | 第23-24页 |
| 2.3 等离子体模拟方法简介 | 第24-26页 |
| 2.3.1 流体动力学模型 | 第25页 |
| 2.3.2 PIC/MCC模型 | 第25-26页 |
| 2.3.3 混合模型 | 第26页 |
| 2.4 PIC/MCC等离子体建模方法 | 第26-35页 |
| 2.4.1 放电结构 | 第27-28页 |
| 2.4.2 模型初始化 | 第28-29页 |
| 2.4.3 电荷分配 | 第29-30页 |
| 2.4.4 泊松方程求解 | 第30-32页 |
| 2.4.5 粒子运动推进 | 第32页 |
| 2.4.6 边界条件 | 第32-33页 |
| 2.4.7 MCC模型处理粒子碰撞 | 第33-35页 |
| 2.5 模拟需注意的问题 | 第35-36页 |
| 2.5.1 模型的稳定性 | 第35-36页 |
| 2.5.2 采用多时标法推动粒子 | 第36页 |
| 2.6 流场与等离子体模型的耦合 | 第36页 |
| 2.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 等离子体风速计建模与结果分析 | 第37-48页 |
| 3.1 等离子体粒子模拟程序的介绍 | 第37-38页 |
| 3.1.1 仿真结构 | 第37页 |
| 3.1.2 参数输入文件简介 | 第37页 |
| 3.1.3 程序的运行 | 第37-38页 |
| 3.2 仿真参数选择 | 第38-39页 |
| 3.2.1 电极参数选择 | 第38页 |
| 3.2.2 电源参数选择 | 第38-39页 |
| 3.2.3 气体参数的选择 | 第39页 |
| 3.2.4 其他参数选择 | 第39页 |
| 3.3 仿真结果及分析 | 第39-46页 |
| 3.3.1 风速对电子密度分布的影响 | 第40-42页 |
| 3.3.2 风速对离子密度分布的影响 | 第42-44页 |
| 3.3.3 风速对电势分布的影响 | 第44-45页 |
| 3.3.4 风速对电场分布的影响 | 第45-46页 |
| 3.3.5 风速对放电电流的影响 | 第46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 等离子体风速计实验研究 | 第48-60页 |
| 4.1 实验简介 | 第48-49页 |
| 4.2 气体放电实验研究 | 第49-55页 |
| 4.2.1 极板间距对气体放电的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.2 耦合电容对放电的影响 | 第50-52页 |
| 4.2.3 耦合电阻对放电的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.4 电源电压对放电的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.5 电源频率对放电的影响 | 第55页 |
| 4.3 横向风速下气体放电实验研究 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 本文总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第66页 |
