基于聚焦光针干涉和共焦成像的多功能表面形貌测量系统

摘要	第4-5页
ABSTRACT	第5-6页
1 绪论	第9-14页
1.1 课题的研究目的及意义	第9-10页
1.2 国内外研究概况和预测	第10-12页
1.3 本文的主要工作	第12-14页
2 聚焦光针干涉和共焦显微成像方法测量原理的研究	第14-27页
2.1 聚焦光针干涉测量方法	第14-19页
2.2 共焦显微成像测量方法	第19-26页
2.3 本章小结	第26-27页
3 多功能表面形貌测量系统总体设计	第27-42页
3.1 测量系统的总体结构	第27-30页
3.2 多功能测量传感器	第30-34页
3.3 二维精密工作台	第34-37页
3.4 带计量系统的垂直扫描系统	第37-40页
3.5 本章小结	第40-42页
4 二维精密工作台和垂直驱动系统精度分析	第42-48页
4.1 二维精密工作台定位精度测试	第42-45页
4.2 二维精密工作台直线度测试	第45-46页
4.3 垂直纳米驱动系统重复定位精度测试	第46-47页
4.4 本章小结	第47-48页
5 测量评定软件系统及实验分析	第48-57页
5.1 测量软件介绍	第48-50页
5.2 实验结果及分析	第50-56页
5.3 本章小结	第56-57页
6 总结和展望	第57-59页
6.1 全文总结	第57页
6.2 研究展望	第57-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-64页
附录1 攻读学位期间发表的学术论文	第64-65页
附录2 测量系统性能测试实验	第65-67页
附录3 二维工作台直线度测量数据	第67-70页