单晶硅太阳电池扩散工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-9页 |
| 1.2 国际太阳能行业现状 | 第9-10页 |
| 1.3 我国太阳能行业现状 | 第10-11页 |
| 1.4 太阳电池的发展 | 第11页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第11-13页 |
| 2 太阳电池的原理和电性能参数 | 第13-18页 |
| 2.1 太阳电池的原理 | 第13-15页 |
| 2.2 太阳电池的等效电路 | 第15-16页 |
| 2.3 太阳电池的电性能参数 | 第16-18页 |
| 3 太阳电池的实现 | 第18-28页 |
| 3.1 清洗制绒 | 第18-20页 |
| 3.1.1 清洗制绒原理 | 第18-19页 |
| 3.1.2 影响绒面质量的因素 | 第19-20页 |
| 3.2 扩散 | 第20-23页 |
| 3.2.1 扩散的原理 | 第20-22页 |
| 3.2.2 扩散薄层电阻定义 | 第22页 |
| 3.2.3 影响扩散的因素 | 第22-23页 |
| 3.3 等离子刻蚀 | 第23-24页 |
| 3.3.1 等离子刻蚀原理 | 第23页 |
| 3.3.2 刻蚀边缘控制 | 第23-24页 |
| 3.4 镀减反射膜 | 第24-25页 |
| 3.4.1 镀减反膜的原理 | 第24-25页 |
| 3.4.2 减反膜的性质及参数影响 | 第25页 |
| 3.5 网印刷与烧结 | 第25-28页 |
| 3.5.1 印刷的原理及步骤 | 第25-26页 |
| 3.5.2 影响印刷质量的因素 | 第26-27页 |
| 3.5.3 烧结的原理及过程 | 第27页 |
| 3.5.4 烧结对电池的影响 | 第27-28页 |
| 4 单晶硅太阳电池扩散工艺研究 | 第28-47页 |
| 4.1 单双面磷扩散对比测试与分析 | 第28-32页 |
| 4.1.1 实验过程 | 第28页 |
| 4.1.2 测试结果与分析 | 第28-32页 |
| 4.1.3 本节小结 | 第32页 |
| 4.2 扩散退火时间对比测试与分析 | 第32-39页 |
| 4.2.1 实验过程 | 第33-34页 |
| 4.2.2 测试结果与分析 | 第34-39页 |
| 4.2.3 本节小结 | 第39页 |
| 4.3 扩散方阻对比测试与分析 | 第39-47页 |
| 4.3.1 实验过程 | 第39-40页 |
| 4.3.2 测试结果与分析 | 第40-46页 |
| 4.3.3 本节小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
