| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·等离子体概述 | 第10-12页 |
| ·低温等离子体 | 第11页 |
| ·气体放电等离子体 | 第11-12页 |
| ·射频低压等离子体 | 第12-19页 |
| ·射频等离子体的产生 | 第12-14页 |
| ·射频低压等离子体的应用 | 第14-19页 |
| ·脉冲调制射频气体放电的研究进展与意义 | 第19-20页 |
| ·本文的研究内容及结构安排 | 第20-22页 |
| 2 实验装置及原理 | 第22-30页 |
| ·脉冲调制射频容性耦合放电实验装置设计 | 第22页 |
| ·光谱学诊断 | 第22-28页 |
| ·光谱诊断简介 | 第24-25页 |
| ·发射光谱诊断方法 | 第25-28页 |
| ·利用Boltzmann斜率法求解电子激发温度方法及原理 | 第28-30页 |
| 3 实验结果与分析 | 第30-56页 |
| ·放电过程中的一些成分分析 | 第30-46页 |
| ·氩气放电中功率、气压对成分的影响 | 第32-33页 |
| ·氩气放电中占空比、调制频率对成分的影响 | 第33-35页 |
| ·混合气体放电成分分析 | 第35页 |
| ·功率、气压对混合气体放电中部分成分的影响 | 第35-40页 |
| ·占空比、调制频率对混合气体放电中部分成分的影响 | 第40-45页 |
| ·结果对比分析 | 第45-46页 |
| ·电子激发温度 | 第46-56页 |
| ·Boltzmann斜率法求解电子激发温度 | 第46-47页 |
| ·氩气放电中功率、气压的影响 | 第47-48页 |
| ·氩气放电中调制频率、占空比的影响 | 第48-50页 |
| ·混合气体放电中功率、气压的影响 | 第50-52页 |
| ·混合气体放电中占空比、调制频率的影响 | 第52-54页 |
| ·结果对比分析 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |