| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-13页 |
| 1.1.1 MEMS简介 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS的应用领域 | 第10-11页 |
| 1.1.3 MEMS加工技术 | 第11-13页 |
| 1.2 研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2.1 概述 | 第13页 |
| 1.2.2 MEMS微镜及其分类 | 第13-14页 |
| 1.2.3 MEMS微镜的应用 | 第14-17页 |
| 1.3 本文研究的主要工作 | 第17-18页 |
| 1.4 文章结构安排 | 第18-19页 |
| 第二章 电热型MEMS微镜 | 第19-25页 |
| 2.1 电热型MEMS微镜驱动方式 | 第19-21页 |
| 2.2 电热Bimorph结构MEMS微镜 | 第21-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 电热Bimorph结构的热分析 | 第25-34页 |
| 3.1 概述 | 第25页 |
| 3.2 电热Bimorph结构热传递模型 | 第25-27页 |
| 3.2.1 电热Bimorph结构的真空模型 | 第25-26页 |
| 3.2.2 电热Bimorph结构的空气模型 | 第26-27页 |
| 3.2.3 热传递模型分析 | 第27页 |
| 3.3 电热Bimorph的温度分布 | 第27-31页 |
| 3.3.1 解析法 | 第27-30页 |
| 3.3.2 仿真迭代逼近法 | 第30页 |
| 3.3.3 解析法与仿真迭代逼近法验证和对比 | 第30-31页 |
| 3.4 空气对流系数的推导 | 第31-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 热MEMS微镜的热串扰分析 | 第34-53页 |
| 4.1 概述 | 第34页 |
| 4.2 电热MEMS微镜的热串扰 | 第34-35页 |
| 4.3 电热MEMS微镜的热串扰模型 | 第35-41页 |
| 4.3.1 点热源的热串扰模型 | 第36-38页 |
| 4.3.2 线热源的热串扰模型 | 第38-40页 |
| 4.3.3 考虑空气对流的热串扰模型 | 第40-41页 |
| 4.4 热串扰模型仿真与测试结果 | 第41-52页 |
| 4.4.1 点热源模型：热源位置与串扰 | 第41-42页 |
| 4.4.2 点热源模型（ = ）热阻及功率与串扰 | 第42-45页 |
| 4.4.3 点热源模型（ = ）参数热阻及功率与串扰 | 第45-48页 |
| 4.4.4 线热源模型 | 第48-51页 |
| 4.4.5 模型对比分析 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 电热MEMS微镜的芯片衬底温度研究 | 第53-60页 |
| 5.1 概况 | 第53页 |
| 5.2 MEMS微镜衬底温度模型 | 第53-55页 |
| 5.2.1 MEMS微镜衬底温度静态模型 | 第53-54页 |
| 5.2.2 MEMS微镜衬底温度动态模型 | 第54-55页 |
| 5.3 MEMS微镜衬底温度模型仿真及验证 | 第55-58页 |
| 5.3.1 MEMS微镜衬底温度静态模型仿真 | 第55-57页 |
| 5.3.2 MEMS微镜衬底温度动态模型仿真 | 第57-58页 |
| 5.4 MEMS微镜衬底温度模型分析 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 仿真与测试结果分析 | 第60-64页 |
| 6.1 Bimorph结构的对流系数仿真与验证 | 第60-61页 |
| 6.2 热串扰模型仿真与测试 | 第61-63页 |
| 6.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第七章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 7.1 论文总结 | 第64-65页 |
| 7.2 工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第71-72页 |
| 附录 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |