基于机器视觉的可变光栏的测量技术研究
| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 待测可变光栏结构分析 | 第11-14页 |
| 1.2.1 可变光栏介绍 | 第11页 |
| 1.2.2 可变光栏的设计参数 | 第11-13页 |
| 1.2.3 可变光栏的解析设计方法 | 第13-14页 |
| 1.3 测量技术研究现状 | 第14-18页 |
| 1.4 机器视觉的发展史与研究现状 | 第18-19页 |
| 1.5 机器视觉检测的研究现状 | 第19页 |
| 1.6 课题研究内容和目的 | 第19-22页 |
| 1.6.1 论文主要内容 | 第19-20页 |
| 1.6.2 论文的结构安排 | 第20-22页 |
| 2 机器视觉测量系统 | 第22-34页 |
| 2.1 测量系统基本构成 | 第22-23页 |
| 2.1.1 测量技术指标 | 第22页 |
| 2.1.2 机器视觉系统基本构成 | 第22-23页 |
| 2.2 测量系统统搭建 | 第23-25页 |
| 2.2.1 测量系统框架图 | 第23页 |
| 2.2.2 硬件选型 | 第23-25页 |
| 2.3 摄像机成像模型 | 第25-29页 |
| 2.3.1 三大坐标系 | 第25-27页 |
| 2.3.2 摄像机线性成像模型 | 第27-28页 |
| 2.3.3 摄像机非线性成像模型 | 第28-29页 |
| 2.4 摄像机标定技术 | 第29-30页 |
| 2.5 本文选用标定方法 | 第30-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 图像处理技术 | 第34-58页 |
| 3.1 图像预处处理 | 第34-40页 |
| 3.1.1 灰度处理 | 第34-35页 |
| 3.1.2 图像滤波处理 | 第35-37页 |
| 3.1.3 图像分割与二值化处理 | 第37-40页 |
| 3.2 图像边缘检测 | 第40-45页 |
| 3.2.1 边缘概述 | 第40-41页 |
| 3.2.2 像素级边缘检测 | 第41-42页 |
| 3.2.3 本文图像边缘检测算子的选择 | 第42页 |
| 3.2.4 亚像素边缘检测 | 第42-43页 |
| 3.2.5 本文选用的亚像素级边缘算子 | 第43-45页 |
| 3.3 椭圆检测 | 第45-48页 |
| 3.3.1 Hough变换 | 第45-47页 |
| 3.3.2 最小二乘拟合 | 第47页 |
| 3.3.3 本文选用的拟合方法 | 第47-48页 |
| 3.4 本课题同心圆环处理方法 | 第48-51页 |
| 3.5 圆度评价 | 第51-55页 |
| 3.5.1 最小二乘拟合圆法 | 第51-52页 |
| 3.5.2 切接圆法 | 第52-55页 |
| 3.5.3 等效面积法 | 第55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-58页 |
| 4 光栏有效尺寸评价方法研究 | 第58-72页 |
| 4.1 投影光刻系统成像模型 | 第58-59页 |
| 4.2 衍射基础理论 | 第59-61页 |
| 4.2.1 标量衍射理论 | 第59页 |
| 4.2.2 菲涅耳衍射 | 第59-60页 |
| 4.2.3 夫琅禾费衍射 | 第60-61页 |
| 4.3 投影光刻系统分辨力 | 第61-62页 |
| 4.4 衍射模拟与分析 | 第62-71页 |
| 4.4.1 离散傅里叶变换 | 第62-63页 |
| 4.4.2 MATLAB衍射模拟 | 第63-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 5 实验与误差分析 | 第72-90页 |
| 5.1 误差分析 | 第72-76页 |
| 5.1.1 总体误差分析 | 第72-74页 |
| 5.1.2 具体误差分析 | 第74-76页 |
| 5.2 精度验证实验 | 第76-79页 |
| 5.2.1 摄像机畸变标定实验分析 | 第76-77页 |
| 5.2.2 系统重复性精度实验 | 第77-78页 |
| 5.2.3 系统测量精度分析 | 第78-79页 |
| 5.3 光栏尺寸测量结果 | 第79-88页 |
| 5.3.1 拟合出的几种圆直径 | 第79-85页 |
| 5.3.2 光栏工作重复性精度分析 | 第85-88页 |
| 5.4 光栏圆度评价 | 第88-89页 |
| 5.5 本章小结 | 第89-90页 |
| 6 总结与展望 | 第90-92页 |
| 6.1 总结 | 第90页 |
| 6.2 展望 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-96页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第96-97页 |
