| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-17页 |
| 1.2.1 液体静压导轨的国内外研究现状分析 | 第11-15页 |
| 1.2.2 液体静压丝杠螺母副应用的国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 国内外文献综述简析 | 第17页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 超精密运动系统总体设计 | 第19-40页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 液体静压支承工作原理及计算软件开发 | 第19-23页 |
| 2.2.1 液体静压支承工作原理 | 第19-22页 |
| 2.2.2 液体静压导轨计算软件开发 | 第22-23页 |
| 2.3 超精密运动系统结构设计 | 第23-35页 |
| 2.3.1 内滑块液体静压导轨结构设计 | 第23-26页 |
| 2.3.2 内滑块液体静压导轨变形仿真与实验研究 | 第26-31页 |
| 2.3.3 内滑块液体静压导轨直线度测量 | 第31-33页 |
| 2.3.4 基于液体静压丝杠的驱动结构设计 | 第33-35页 |
| 2.4 控制系统硬件选型 | 第35-36页 |
| 2.5 液压站设计 | 第36-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 内滑块液体静压导轨静动态特性分析 | 第40-55页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 内滑块液体静压导轨静态特性分析 | 第40-46页 |
| 3.2.1 油腔压力分布的仿真与实验 | 第40-44页 |
| 3.2.2 液体静压导轨刚度实验研究与优化 | 第44-46页 |
| 3.3 内滑块液体静压导轨动态特性分析 | 第46-54页 |
| 3.3.1 液体静压导轨压膜效应的动态方程建立 | 第46-49页 |
| 3.3.2 液体静压导轨模态仿真及实验分析 | 第49-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 超精密运动控制系统设计及特性分析 | 第55-71页 |
| 4.1 引言 | 第55页 |
| 4.2 液体静压丝杠螺母副同轴度测试 | 第55-57页 |
| 4.3 运动系统阻尼特性分析 | 第57-61页 |
| 4.4 控制系统设计及特性分析 | 第61-65页 |
| 4.4.1 控制系统设计 | 第61-63页 |
| 4.4.2 转速模式下控制系统特性分析 | 第63-64页 |
| 4.4.3 转矩模式下控制系统特性分析 | 第64-65页 |
| 4.5 运动分辨率测试及振动分析 | 第65-70页 |
| 4.5.1 运动分辨率测试 | 第65-67页 |
| 4.5.2 运动系统振动分析 | 第67-70页 |
| 4.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |