| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 THz技术及其应用 | 第8-9页 |
| 1.2 金属网格滤波器的发展 | 第9-12页 |
| 1.3 选题内容和章节安排 | 第12-14页 |
| 第二章 THz金属网格结构的理论基础 | 第14-30页 |
| 2.1 金属的自由电子气体模型 | 第14-17页 |
| 2.2 等离子体振荡 | 第17-24页 |
| 2.2.1 表面等离子激元 | 第17-22页 |
| 2.2.2 等效表面等离子激元 | 第22-24页 |
| 2.3 周期性结构的散射场分析 | 第24-25页 |
| 2.4 Wood异常 | 第25-26页 |
| 2.5 Babinet原理简介 | 第26-27页 |
| 2.6 电磁场仿真方法 | 第27-28页 |
| 2.6.1 有限元法简介 | 第27-28页 |
| 2.6.2 仿真误差及精确性 | 第28页 |
| 2.7 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 THz金属网格带通滤波器的研究和优化设计 | 第30-46页 |
| 3.1 THz金属网格带通滤波器的设计要求 | 第30-31页 |
| 3.2 基于十字孔阵列的改进结构——折叠十字孔阵列 | 第31-41页 |
| 3.2.1 折叠十字孔阵列周期的影响 | 第32-35页 |
| 3.2.2 折叠十字孔主臂长的影响 | 第35-37页 |
| 3.2.3 折叠十字孔折叠臂长的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.4 折叠十字孔臂宽的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.5 金属厚度的影响 | 第39-41页 |
| 3.3 基于折叠十字孔阵列的THz带通滤波器的特点和优化设计方案 | 第41-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 无基底金属网格结构的加工工艺研究 | 第46-58页 |
| 4.1 无基底金属网格结构的加工工艺流程简介 | 第46-48页 |
| 4.2 二维周期结构的无掩模光刻系统 | 第48-54页 |
| 4.2.1 基于DMD投影成像的光刻系统的光路系统 | 第48-51页 |
| 4.2.2 二维扫描光刻的控制系统 | 第51-54页 |
| 4.3 实验研究 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |
