| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 太赫兹可调滤波器的研究与发展 | 第11-16页 |
| 1.3 本论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 微执行器 | 第18-50页 |
| 2.1 微执行器概述 | 第18-22页 |
| 2.1.1 微执行器简介及发展 | 第18-19页 |
| 2.1.2 微执行器基本原理 | 第19-21页 |
| 2.1.3 微执行器特点及设计应注意的问题 | 第21-22页 |
| 2.2 PolyMUMs工艺介绍 | 第22-30页 |
| 2.2.1 微加工技术 | 第22-24页 |
| 2.2.2 PolyMUMs工艺流程 | 第24-27页 |
| 2.2.3 PolyMUMs工艺设计规则 | 第27-30页 |
| 2.3 蛇形级联Bimorph微执行器 | 第30-41页 |
| 2.3.1 Bimorph工作原理 | 第30-32页 |
| 2.3.2 蛇形级联Bimorph微执行器仿真分析 | 第32-39页 |
| 2.3.3 加工版图设计及测试结果分析 | 第39-41页 |
| 2.4 U型梁微执行器 | 第41-48页 |
| 2.4.1 工作原理 | 第41-42页 |
| 2.4.2 仿真分析 | 第42-46页 |
| 2.4.3 加工版图设计及测试结果分析 | 第46-48页 |
| 2.5 划片技术 | 第48页 |
| 2.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第三章 太赫兹可调带通滤波器设计 | 第50-64页 |
| 3.1 滤波器设计原理 | 第50-54页 |
| 3.1.1 滤波器综合理论 | 第50-52页 |
| 3.1.2 可调滤波器稳定条件 | 第52-53页 |
| 3.1.3 H面膜片耦合波导带通滤波器快速设计方法 | 第53-54页 |
| 3.2 基于Bimorph微执行器的可调带通滤波器实例设计 | 第54-58页 |
| 3.2.1 调谐原理 | 第54-55页 |
| 3.2.2 实例设计 | 第55-58页 |
| 3.3 基于U型梁微执行器的可调带通滤波器实例设计 | 第58-63页 |
| 3.3.1 调谐原理 | 第59-60页 |
| 3.3.2 实例设计 | 第60-63页 |
| 3.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 太赫兹可调带阻滤波器设计 | 第64-74页 |
| 4.1 可调带阻滤波器实例设计 | 第64-69页 |
| 4.1.1 调谐原理 | 第64-66页 |
| 4.1.2 实例设计 | 第66-67页 |
| 4.1.3 改进型实例设计 | 第67-69页 |
| 4.2 基于EBG结构的可调吸波器设计 | 第69-72页 |
| 4.2.1 EBG简介 | 第69-70页 |
| 4.2.2 基于太赫兹时域光谱系统的可调吸波器测试 | 第70-72页 |
| 4.3 本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 总结和展望 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第80-81页 |
