| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·TiO_2光催化 | 第9-12页 |
| ·TiO_2薄膜的制备方法 | 第12-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-20页 |
| ·选题意义与研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 试验材料与方法 | 第22-29页 |
| ·薄膜的制备 | 第22-24页 |
| ·薄膜的热处理 | 第24页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第24-29页 |
| 第三章 TiON薄膜的制备及其可见光催化还原性能的研究 | 第29-48页 |
| ·氮分压 | 第29-37页 |
| ·衬底温度 | 第37-42页 |
| ·溅射气压 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 Fe修饰TiON薄膜的制备及其可见光催化还原性能的研究 | 第48-58页 |
| ·Fe含量 | 第48-53页 |
| ·衬底温度 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 Pd修饰TiON薄膜的制备及其可见光催化还原性能的研究 | 第58-69页 |
| ·Pd含量 | 第58-64页 |
| ·衬底温度 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 讨论 | 第69-71页 |
| ·薄膜的结构、形貌 | 第69页 |
| ·薄膜的性能 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 第七章 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 致谢 | 第76页 |