| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·极紫外光源的发展 | 第8-10页 |
| ·极紫外光源国内外发展现状 | 第10-12页 |
| ·研究内容及意义 | 第12-13页 |
| 第二章 双脉冲激光等离子体光源及碎屑产生原理 | 第13-18页 |
| ·等离子体产生机制 | 第13-14页 |
| ·激光等离子体的物理机制 | 第14-15页 |
| ·双脉冲激光等离子体的产生机制 | 第15-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 双脉冲打靶条件下激光等离子体极紫外光源光谱特性 | 第18-34页 |
| ·实验装置 | 第18-19页 |
| ·双脉冲重合方法建立 | 第19-24页 |
| ·Gd金属靶激光等离子体光源光谱辐射影响 | 第24页 |
| ·预激光脉冲对Gd等离子体极紫外光谱的影响 | 第24-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 预脉冲对激光等离子体碎屑产生的研究 | 第34-38页 |
| ·激光等离子体碎屑产生的物理机制 | 第34-35页 |
| ·双脉冲对等离子体光源碎屑的影响物理机制 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38页 |
| 第五章 总结与展望 | 第38-39页 |
| 致谢 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-43页 |
| 硕士期间发表文章 | 第43页 |