非硅MEMS惯性开关特性分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·研究现状及发展趋势 | 第8-10页 |
| ·论文结构安排 | 第10-13页 |
| 第二章 MEMS惯性开关设计 | 第13-17页 |
| ·设计依据 | 第13页 |
| ·设计原理和结构 | 第13-15页 |
| ·本章小结 | 第15-17页 |
| 第三章 惯性开关力学模型 | 第17-27页 |
| ·惯性开关基本数学模型 | 第17-18页 |
| ·阻尼系数 | 第18-22页 |
| ·压膜阻尼 | 第19-20页 |
| ·滑膜阻尼 | 第20-22页 |
| ·静电力 | 第22-23页 |
| ·半正弦信号输入响应 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第四章 惯性开关仿真分析 | 第27-47页 |
| ·ANSYS仿真软件与有限元法 | 第27-28页 |
| ·有限元法 | 第27页 |
| ·ANSYS | 第27-28页 |
| ·惯性开关静力学分析 | 第28-33页 |
| ·瞬态动力学仿真分析 | 第33-40页 |
| ·压膜阻尼分析 | 第33-34页 |
| ·瞬态动力学仿真分析 | 第34-38页 |
| ·正碰阈值加速度 | 第38-40页 |
| ·抗高过载能力分析 | 第40-43页 |
| ·抗高过载仿真分析 | 第40-43页 |
| ·不同着角导通特性仿真分析 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 惯性开关加工及测试 | 第47-63页 |
| ·惯性开关加工 | 第47-49页 |
| ·试验测试 | 第49-61页 |
| ·冲击试验 | 第49-58页 |
| ·导通阈值试验 | 第49-55页 |
| ·不同着角冲击试验 | 第55-58页 |
| ·马歇特锤击试验 | 第58-59页 |
| ·振动试验 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
