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铌酸锂Y分支波导集成光学调制器的设计与制作

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第1章 绪论第10-16页
   ·LN 调制模块在光纤陀螺中的应用第10-11页
   ·LN 波导芯片的制作进展第11-14页
     ·表面外扩散第11-12页
     ·金属内扩散第12-13页
     ·离子交换第13页
     ·质子交换第13-14页
   ·本课题的目的和主要的工作第14-16页
第2章 LN 波导芯片的制备和折射率分布测试理论第16-28页
   ·LN 波导芯片制备的理论分析第16-17页
   ·LN 波导芯片制备的过程第17-24页
     ·生长掩膜第17-18页
     ·光刻波导图形第18-19页
     ·刻蚀第19-20页
     ·质子交换第20-21页
     ·退火技术第21-23页
     ·电极的制作第23-24页
   ·LN 波导芯片折射率分布的测试理论分析第24-28页
第3章 LN 波导芯片的折射率分布测试、光传输仿真及实验比较第28-47页
   ·LN 波导芯片在不同制备工艺条件下的理论分析第28-30页
     ·质子浓度分布第28-29页
     ·质子交换深度第29页
     ·退火深度第29-30页
   ·LN 波导芯片折射率分布的测量结果第30-34页
     ·苯甲酸浓度对折射率分布的影响第30-32页
     ·质子交换时间对折射率分布的影响第32-33页
     ·退火时间对折射率分布的影响第33-34页
     ·实验小结第34页
   ·LN 波导芯片光传输仿真及结果分析第34-44页
     ·光束传输法第34-35页
     ·FD-BPM 算法第35-36页
     ·边界条件第36-38页
     ·扩散波导第38-44页
   ·仿真结果与实验结果的分析和对比第44-47页
     ·本征模场对比第44页
     ·输出光功率对比第44-45页
     ·实验结果与总结第45-47页
第4章 LN 调制模块的制作及测试第47-68页
   ·LN 调制模块的制作第47-50页
     ·芯片抛光第47页
     ·LN 波导芯片耦合固化第47-48页
     ·耦合固化平台第48-49页
     ·封装第49-50页
   ·LN 调制模块光学性能测试第50-52页
   ·LN 调制模块电学性能测试第52-58页
     ·半波电压测量方法理论分析——Sagnac 光纤干涉仪法第52-54页
     ·半波电压测试方法第54-58页
   ·LN 调制模块测试的结果分析第58-68页
     ·光学技术指标第59-61页
     ·电学技术指标第61-62页
     ·全温技术指标(-45~70℃)第62-68页
第5章 总结与展望第68-70页
参考文献第70-72页
致谢第72-73页
附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文第73页

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