基于双频激光和圆光栅的精密丝杠动态测量系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·丝杠测量方法概述 | 第8-12页 |
| ·静态测量法 | 第8-9页 |
| ·动态测量法 | 第9-12页 |
| ·丝杠测量仪器的发展现状 | 第12-13页 |
| ·几种典型的丝杠测量仪 | 第13-17页 |
| ·HJY05型丝杠测量仪 | 第13-14页 |
| ·长丝杠螺距测量仪 | 第14-15页 |
| ·基于光学测头的丝杠测量仪 | 第15-17页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 测量系统方案设计和测量原理 | 第18-28页 |
| ·总体方案设计 | 第18-20页 |
| ·系统测量原理 | 第20-28页 |
| ·双频激光干涉仪原理 | 第20-23页 |
| ·角度测量原理 | 第23-28页 |
| ·莫尔条纹原理 | 第23-24页 |
| ·圆光栅测量系统工作原理 | 第24-28页 |
| 第三章 系统结构设计 | 第28-34页 |
| ·激光测长系统部件选取 | 第28-30页 |
| ·圆光栅的选取和光栅读数头 | 第30-32页 |
| ·工作台及床身的设计 | 第32-34页 |
| 第四章 系统电路设计 | 第34-45页 |
| ·概述 | 第34-35页 |
| ·光电模拟信号处理 | 第35-37页 |
| ·光电转换及放大电路设计 | 第36-37页 |
| ·数字电路设计 | 第37-41页 |
| ·减法器 | 第38-40页 |
| ·倍频器 | 第40-41页 |
| ·可逆计数器 | 第41页 |
| ·圆光栅处理电路 | 第41-45页 |
| ·信号的放大电路设计 | 第42-43页 |
| ·信号的整形电路设计 | 第43-45页 |
| 第五章 测量软件实现 | 第45-48页 |
| ·软件界面设计 | 第45-46页 |
| ·曲线拟合 | 第46-48页 |
| 第六章 测量系统的误差分析及误差补偿 | 第48-52页 |
| ·阿贝误差分析 | 第48-49页 |
| ·激光干涉仪误差分析 | 第49-50页 |
| ·激光频率和波长误差 | 第49页 |
| ·测试环境引起的误差 | 第49页 |
| ·激光干涉仪测量误差 | 第49-50页 |
| ·圆光栅测角位移误差 | 第50页 |
| ·杠的温度变化误差补偿 | 第50页 |
| ·误差合成 | 第50-52页 |
| 第七章 总结 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
