原子力显微镜反馈信号检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·纳米科技概述 | 第8-10页 |
| ·纳米科技的“眼”和“手” | 第10页 |
| ·原子力显微镜的发展现状及应用 | 第10-13页 |
| ·课题背景和意义 | 第13-15页 |
| 第2章 原子力显微镜的原理 | 第15-24页 |
| ·原子力的物理机理 | 第15-16页 |
| ·探针受力分析 | 第16-18页 |
| ·原子力显微镜的工作原理 | 第18页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第18-24页 |
| 第3章 原子力显微镜反馈系统 | 第24-37页 |
| ·AFM的反馈系统组成 | 第24-25页 |
| ·微悬臂受力检测部分 | 第25-31页 |
| ·AFM微悬臂偏转量的检测方法 | 第26-28页 |
| ·AFM微悬臂受力检测的设计与实现 | 第28-31页 |
| ·反馈控制系统设计 | 第31-34页 |
| ·反馈控制系统概述 | 第31页 |
| ·原子力显微镜PID控制器 | 第31-34页 |
| ·扫描器 | 第34-37页 |
| ·基本概念 | 第34-35页 |
| ·PZT微位移平台 | 第35-36页 |
| ·扫描方式的选择 | 第36-37页 |
| 第4章 程序设计 | 第37-43页 |
| ·A/D和D/A系统 | 第37-38页 |
| ·控制程序设计 | 第38-43页 |
| 第5章 联机实验及结果分析 | 第43-49页 |
| ·实验前的准备 | 第43-44页 |
| ·联机实验及结果分析 | 第44-46页 |
| ·气相下的实验 | 第44页 |
| ·液相下的实验 | 第44-46页 |
| ·其他的一些实验 | 第46-49页 |
| 第6章 总结和展望 | 第49-51页 |
| ·总结 | 第49页 |
| ·展望 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
