微透镜阵列镍模芯微电铸工艺及表面质量研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·微透镜阵列的应用 | 第8-9页 |
| ·微电铸技术及其研究现状 | 第9-16页 |
| ·微电铸技术的特点及应用 | 第10-12页 |
| ·镍模芯表面质量指标 | 第12-13页 |
| ·电铸层内应力的研究现状 | 第13-15页 |
| ·电铸层表面粗糙度的研究现状 | 第15-16页 |
| ·课题来源及论文主要研究内容 | 第16-19页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-19页 |
| 第二章 微电铸技术理论基础及实验平台搭建 | 第19-31页 |
| ·脉冲电铸原理 | 第19-21页 |
| ·电化学理论 | 第21-25页 |
| ·法拉第定律 | 第21页 |
| ·电极电势与电极极化 | 第21-22页 |
| ·液相传质 | 第22-24页 |
| ·金属电结晶 | 第24-25页 |
| ·微电铸实验平台搭建 | 第25-30页 |
| ·功能分析 | 第25页 |
| ·总体设计 | 第25-26页 |
| ·微电铸设备选型 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 微透镜阵列镍模芯的制备 | 第31-44页 |
| ·镍模芯制备工艺流程 | 第31-34页 |
| ·母模制备 | 第34-39页 |
| ·热熔回流工艺制备母模 | 第34-37页 |
| ·聚合物微注射成型制备母模 | 第37-39页 |
| ·电解液配制 | 第39-41页 |
| ·微电铸工艺参数 | 第41-43页 |
| ·矩形脉冲电源参数 | 第41页 |
| ·其它参数 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 镍模芯内应力的实验研究 | 第44-54页 |
| ·内应力理论 | 第44-46页 |
| ·内应力产生机理 | 第44-45页 |
| ·内应力影响因素 | 第45页 |
| ·内应力减小措施 | 第45-46页 |
| ·镍模芯内应力正交实验及结果分析 | 第46-50页 |
| ·内应力正交实验 | 第46-47页 |
| ·内应力测量 | 第47-49页 |
| ·正交实验结果分析 | 第49-50页 |
| ·镍模芯内应力单因素实验及结果分析 | 第50-52页 |
| ·内应力单因素实验 | 第50-51页 |
| ·单因素实验结果分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 镍模芯表面粗糙度的实验研究 | 第54-64页 |
| ·表面粗糙度理论 | 第54-55页 |
| ·表面粗糙度产生机理 | 第54页 |
| ·表面粗糙度影响因素 | 第54-55页 |
| ·表面粗糙度减小措施 | 第55页 |
| ·镍模芯表面粗糙度正交实验及结果分析 | 第55-58页 |
| ·表面粗糙度正交实验 | 第55页 |
| ·表面粗糙度测量 | 第55-57页 |
| ·正交实验结果分析 | 第57-58页 |
| ·镍模芯表面粗糙度单因素实验及结果分析 | 第58-62页 |
| ·表面粗糙度单因素实验 | 第58-59页 |
| ·单因素实验结果分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-67页 |
| ·全文总结 | 第64-65页 |
| ·未来展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73页 |
