顶部籽晶提拉法激光晶体生长工艺有限元模拟
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·激光晶体及生长方法概述 | 第7-9页 |
| ·晶体生长数值模拟的发展 | 第9-10页 |
| ·本文的研究目的、意义及研究内容 | 第10-12页 |
| 第二章 TSSG法生长激光晶体 | 第12-21页 |
| ·TSSG法介绍 | 第12页 |
| ·TSSG实验装置及工艺 | 第12-14页 |
| ·影响晶体生长的因素 | 第14-18页 |
| ·晶体生长过程中的流动换热 | 第18-21页 |
| 第三章 有限元方法及模型的建立 | 第21-30页 |
| ·有限元法概述 | 第21-22页 |
| ·基于ANSYS的建模 | 第22-30页 |
| 第四章 FETSSG程序及数值模拟结果 | 第30-35页 |
| ·FETSSG程序 | 第30页 |
| ·物理模型 | 第30页 |
| ·数学模型 | 第30-32页 |
| ·TSSG单晶炉内的温度场分布 | 第32页 |
| ·熔体内的液流速度场及温度场 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第五章 TSSG法晶体生长工艺预测系统 | 第35-51页 |
| ·TSSG法晶体生长工艺预测系统简介 | 第35-36页 |
| ·软件需求分析 | 第36页 |
| ·系统设计方案 | 第36-46页 |
| ·预测系统的实现与测试 | 第46-51页 |
| 第六章 结论 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
