紫外脉冲激光刻蚀数学模型研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-19页
·激光刻蚀技术发展现状	第9-12页
·激光刻蚀模型国内外研究概况	第12-14页
·学位论文选题的来源，研究方案和意义	第14-15页
·影响刻蚀质量的因素	第15-16页
·本文创新点	第16-17页
·本章小结	第17-19页
2 紫外脉冲激光刻蚀机理和温度场分布	第19-29页
·紫外脉冲激光刻蚀金属材料的机理	第19-20页
·材料对激光的吸收特性	第20-21页
·激光与固体材料相互作用表面效应和内部效应	第21-22页
·激光作用固体材料的温度场分布	第22-27页
·本章小结	第27-29页
3 紫外脉冲激光刻蚀前沿数学模型	第29-38页
·引言	第29页
·紫外脉冲激光打微孔模型的背景	第29-31页
·激光与材料作用前沿的功率平衡方程	第31页
·紫外激光束刻蚀前沿局部强度分布	第31-33页
·光功率局部吸收	第33页
·热传导损耗的功率	第33-35页
·熔化材料和加热熔液消耗的功率	第35页
·关于吸收激光辐射功率的修正系数	第35-36页
·紫外脉冲激光束单脉冲刻蚀量	第36-37页
·本章小结	第37-38页
4 刻蚀模型的MATLAB 仿真和数值分析	第38-65页
·MATLAB 数值仿真过程	第38-45页
·数值模拟结果与分析	第45-53页
·纳秒紫外脉冲激光刻蚀金属材料的实验研究	第53-64页
·本章小结	第64-65页
5 总结与展望	第65-67页
·总结	第65-66页
·展望	第66-67页
致谢	第67-68页
参考文献	第68-72页