| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-25页 |
| ·绪论 | 第9-10页 |
| ·节能薄膜玻璃的理论基础和研究现状 | 第10-13页 |
| ·低辐射薄膜的节能原理和研究现状 | 第11-12页 |
| ·阳光控制薄膜的节能原理和研究现状 | 第12-13页 |
| ·节能型薄膜玻璃的制备方法 | 第13-16页 |
| ·喷涂镀膜法(Spray Coating) | 第13-14页 |
| ·溅射法(Sputtering) | 第14-15页 |
| ·真空蒸镀法(Vacuum Evaporation) | 第15页 |
| ·电浮法镀膜(Electro Float) | 第15页 |
| ·溶胶—凝胶法(Sol-Gel) | 第15-16页 |
| ·化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition) | 第16页 |
| ·高效节能用TiN薄膜的节能原理和制备方法 | 第16-19页 |
| ·高效节能用TiN薄膜的节能原理 | 第17-18页 |
| ·高效节能用TiN薄膜的制备方法 | 第18-19页 |
| ·自清洁薄膜的理论基础 | 第19-22页 |
| ·TiO_2薄膜的制备方法 | 第22-24页 |
| ·物理气相沉积法(Physical Vapor Deposition,PVD) | 第22页 |
| ·溶胶—凝胶法(Sol-Gel) | 第22-23页 |
| ·通过TiN的热处理制备TiO_2薄膜 | 第23-24页 |
| ·课题的提出 | 第24-25页 |
| 第二章 样品制备及表征 | 第25-29页 |
| ·样品的制备 | 第25-27页 |
| ·TiN样品的制备 | 第25-27页 |
| ·TiN薄膜的表面热处理 | 第27页 |
| ·样品的测试和表征 | 第27-29页 |
| ·X射线衍射仪(XRD) | 第27页 |
| ·场发射扫描电镜(FESEM) | 第27页 |
| ·X射线色散能谱仪(EDX) | 第27页 |
| ·四探针电阻测试仪 | 第27-28页 |
| ·紫外—可见分光光度计(UV/Vis Spectrometer) | 第28-29页 |
| 第三章 热处理温度对TiN薄膜表面氧化的影响 | 第29-45页 |
| ·表面热处理温度对热处理后薄膜表面成分的影响 | 第29-32页 |
| ·表面热处理温度对热处理后薄膜结晶性能的影响 | 第32-34页 |
| ·表面热处理温度对热处理后薄膜表面形貌的影响 | 第34-36页 |
| ·表面热处理温度对氧化后薄膜导电性能的影响 | 第36-38页 |
| ·表面热处理温度对氧化后薄膜光学性能的影响 | 第38-42页 |
| ·热处理温度对热处理后薄膜光催化性能及表面亲水性的影响 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 热处理时间对TiN薄膜表面氧化的影响 | 第45-61页 |
| ·热处理时间对热处理后薄膜表面成分的影响 | 第45-48页 |
| ·表面热处理时间对热处理后薄膜结晶性能的影响 | 第48-50页 |
| ·热处理时间对热处理后薄膜表面形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·热处理时间对氧化后薄膜导电性能的影响 | 第52-54页 |
| ·热处理时间对氧化后薄膜光学性能的影响 | 第54-58页 |
| ·热处理时间对氧化后薄膜光催化性能和表面亲水性的影响 | 第58-59页 |
| ·本章小节 | 第59-61页 |
| 第五章 结论和展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
