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微细电解加工实验研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-16页
第一章 绪论第16-32页
   ·电解加工的特点第16-17页
   ·电解加工技术的研究与发展第17-21页
     ·微细电解加工第17页
     ·脉冲电流电解加工第17-19页
     ·数控电解加工第19-20页
     ·电解复合加工第20-21页
   ·微细电解加工技术的研究与发展第21-28页
     ·掩膜微细电解加工第22-23页
     ·电液流微细电解加工第23-24页
     ·脉冲电流微细电解加工第24-26页
     ·约束刻蚀剂层方法第26-27页
     ·基于扫描隧道显微镜(STM)的微细电化学加工第27-28页
   ·微细电解加工中存在的问题第28-29页
   ·本课题来源及主要研究内容第29-32页
     ·课题来源与研究目的第29-30页
     ·论文主要研究内容第30页
     ·论文主要创新点第30-32页
第二章 微细电解加工系统第32-43页
   ·微细电解加工的特点第32-33页
   ·微细电解加工系统组成第33-42页
     ·加工过程运动控制第34-35页
     ·加工过程对刀与检测第35-41页
     ·实验过程数据采集与处理第41-42页
     ·电解液及电源系统第42页
   ·本章小结第42-43页
第三章 微细加工中微细电极的制备研究第43-71页
   ·微探针的制备第43-51页
     ·微细探针制备的实验原理第43-45页
     ·探针加工的控制策略第45-47页
     ·各种工艺参数对探针成形的影响第47-51页
   ·微细圆柱体电极的制备第51-62页
     ·微细圆柱体电极制备原理与理论建模第52-56页
     ·微细圆柱体电极成形实验与分析第56-60页
     ·部分实验样件照片第60-62页
   ·微细圆柱群电极的制备第62-70页
     ·微细圆柱群电极制备的工艺过程第62-63页
     ·群电极加工有限元电场分析第63-65页
     ·阴极有限元优化设计求解第65-67页
     ·群电极直径尺寸的确定第67-68页
     ·工艺参数对微细群电极成形的影响第68-70页
   ·本章小结第70-71页
第四章 微细孔电解加工实验研究第71-91页
   ·影响微孔电解加工性能的因素分析第71-75页
     ·影响加工稳定性的因素分析第71-72页
     ·影响加工精度的因素分析第72-75页
   ·微孔电解加工实验研究第75-87页
     ·微细电极的定位装夹第75页
     ·加工间隙的控制第75页
     ·电解液的影响第75-79页
     ·工具电极形状的影响第79-83页
     ·工具电极进给方式的影响第83-84页
     ·加工电源的影响第84-87页
   ·微细群孔电解加工实验研究第87-89页
     ·微细群电极装夹与定位第88页
     ·微细群孔加工实验与分析第88-89页
   ·本章小结第89-91页
第五章 涡轮叶片竹节孔冷却通道微细电解加工实验研究第91-114页
   ·阴极固定式竹节孔模拟加工第92-98页
     ·竹节孔加工成形理论分析第92-94页
     ·竹节孔加工电场分析第94-95页
     ·竹节孔加工有限元求解第95-98页
   ·竹节孔电解加工实验与分析第98-103页
     ·实验装置第98-99页
     ·实验工具电极的制备第99-101页
     ·实验夹具的设计第101页
     ·冲液压力与流速的选择第101-103页
   ·工艺参数对实验结果的影响第103-107页
     ·加工电压对加工精度的影响第103-104页
     ·工件材料对加工精度的影响第104页
     ·电解液对加工精度的影响第104-106页
     ·部分实验样件照片第106-107页
   ·竹节孔冷却通道传热理论模型的建立与传热分析第107-113页
     ·理论模型的建立第107-109页
     ·竹节孔传热过程分析第109-113页
   ·本章小结第113-114页
第六章 结论与展望第114-116页
   ·论文研究工作总结第114-115页
   ·对未来工作的展望第115-116页
参考文献第116-125页
致谢第125-126页
攻读学位期间的研究成果及发表的学术论文第126-127页

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