| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·概述 | 第10页 |
| ·薄膜中的残余应力 | 第10-13页 |
| ·薄膜应力的研究意义 | 第10-11页 |
| ·薄膜应力研究现状 | 第11-13页 |
| ·应变工程 | 第13-14页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第14-16页 |
| ·分子束外延方法 | 第14页 |
| ·溅射镀膜法 | 第14-15页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第15页 |
| ·MOD 沉积法 | 第15-16页 |
| ·本文研究的目的、方法和内容 | 第16-18页 |
| ·本文研究的目的 | 第16页 |
| ·本文研究的方法 | 第16-17页 |
| ·本实验研究的内容 | 第17-18页 |
| 第二章 实验平台的建立 | 第18-28页 |
| ·实验仪器简介 | 第18-19页 |
| ·样品的制备 | 第19页 |
| ·应力测量方法及原理 | 第19-22页 |
| ·三轴应力分析方法 | 第22-23页 |
| ·外延应变的倒易空间分析方法 | 第23-28页 |
| ·倒易空间图的基本原理 | 第23-25页 |
| ·倒易空间的实验扫描模式 | 第25-26页 |
| ·外延应变的精确测定原理 | 第26-28页 |
| 第三章 BST 铁电薄膜微结构和残余应力研究 | 第28-40页 |
| ·铁电基本理论 | 第28-31页 |
| ·铁电薄膜 | 第31-33页 |
| ·背景 | 第31-32页 |
| ·BST 铁电薄膜的应用 | 第32-33页 |
| ·实验 | 第33页 |
| ·样品的制备 | 第33页 |
| ·分析测试 | 第33页 |
| ·结果与讨论 | 第33-37页 |
| ·微结构与残余应力 | 第33-34页 |
| ·残余应力的测量 | 第34-37页 |
| ·晶粒大小 | 第37-38页 |
| ·表面形貌 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 CFO 薄膜微结构、残余应力及磁性能研究 | 第40-46页 |
| ·尖晶石铁氧体晶体结构和基本特性 | 第40-41页 |
| ·背景 | 第41页 |
| ·实验 | 第41-45页 |
| ·样品的制备 | 第41页 |
| ·XRD 分析 | 第41-42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 YBCO 高温超导薄膜微结构和临界电流密度的研究 | 第46-57页 |
| ·超导电性机理及存在的问题 | 第46-47页 |
| ·高温超导机理 | 第46-47页 |
| ·存在的问题 | 第47页 |
| ·高温超导体晶体结构和基本特性 | 第47-48页 |
| ·背景 | 第48-49页 |
| ·高温超导材料的应用 | 第49页 |
| ·样品的制备及实验方法 | 第49-51页 |
| ·样品制备 | 第49-50页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第50-51页 |
| ·结果与讨论 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 结论 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻硕期间取得研究成果 | 第64-65页 |