飞秒激光微精细加工—微量物质转移研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-32页 |
| ·飞秒激光发展简史 | 第9-12页 |
| ·激光加工进展 | 第12-13页 |
| ·飞秒激光加工的机理与特征优势 | 第13-17页 |
| ·飞秒激光加工的机理 | 第13-14页 |
| ·飞秒激光加工的特征优势 | 第14-17页 |
| ·飞秒激光微精细加工应用研究进展 | 第17-29页 |
| ·基于去除物质机制的微加工应用研究 | 第17-21页 |
| ·基于烧蚀局部改性机制的微加工应用研究 | 第21-24页 |
| ·基于微量物质转移机制的微加工应用研究 | 第24-29页 |
| ·论文的主要工作及创新 | 第29-32页 |
| ·论文的主要工作 | 第29-31页 |
| ·论文的创新点 | 第31-32页 |
| 第二章 飞秒激光烧蚀金属材料的数值模拟与热分析 | 第32-43页 |
| ·二维双温差分方程的建立 | 第33-36页 |
| ·计算结果与讨论 | 第36-42页 |
| ·电子与晶格的能量耦合时间及烧蚀阈值 | 第37-39页 |
| ·烧蚀半径、深度与激光能量的关系 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 飞秒激光诱导向前转移实验台的建立 | 第43-47页 |
| ·飞秒激光加工工作台 | 第43-46页 |
| ·膜转移实验的样品控制台 | 第46页 |
| ·实验条件 | 第46-47页 |
| 第四章 飞秒激光诱导铜薄膜向前转移实验研究 | 第47-79页 |
| ·厚度40nm铜薄膜的fs-LIFT实验研究 | 第47-56页 |
| ·能量阈值及膜转移特征 | 第47-50页 |
| ·沉积点的尺寸与照射激光能量的关系 | 第50-52页 |
| ·激光能量对膜转移沉积点形貌的影响 | 第52-55页 |
| ·FS-LIFT对铜材料结构的影响 | 第55-56页 |
| ·厚度80nm铜薄膜的fs-LIFT实验研究 | 第56-65页 |
| ·能量阈值及膜转移特征 | 第56-57页 |
| ·沉积点的尺寸与照射激光能量的关系 | 第57-58页 |
| ·激光能量对膜转移沉积点形貌的影响 | 第58-63页 |
| ·接收距离对沉积点形貌、尺寸的影响 | 第63-65页 |
| ·厚度450nm铜薄膜的fs-LIFT实验研究 | 第65-72页 |
| ·能量阈值及膜转移特征 | 第65-68页 |
| ·沉积点的尺寸与照射激光能量的关系 | 第68-69页 |
| ·激光能量对膜转移沉积点形貌的影响 | 第69-71页 |
| ·接收距离对沉积点形貌、尺寸的影响 | 第71-72页 |
| ·微图形制作初探 | 第72-77页 |
| ·线阵的制作 | 第72-74页 |
| ·微图形制作 | 第74-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第五章 飞秒激光诱导铝薄膜向前转移实验研究 | 第79-90页 |
| ·厚度为150nm铝薄膜的fs-LIFT实验研究 | 第79-85页 |
| ·能量阈值 | 第79-80页 |
| ·沉积点的尺寸、形貌与照射激光能量的关系 | 第80-82页 |
| ·激光聚焦点位置、接收距离对沉积膜形貌的影响 | 第82-85页 |
| ·厚度为500nm铝薄膜的fs-LIFT实验研究 | 第85-88页 |
| ·能量阈值 | 第85-86页 |
| ·沉积点的尺寸、形貌与照射激光能量的关系 | 第86-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 第六章 总结 | 第90-93页 |
| 参考文献 | 第93-106页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |
