| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-25页 |
| ·真空蒸镀 | 第10-16页 |
| ·真空蒸镀法及其基本原理 | 第11页 |
| ·蒸发源的类型 | 第11-14页 |
| ·影响薄膜质量的因素 | 第14-15页 |
| ·蒸发沉积薄膜的纯度 | 第15页 |
| ·真空蒸镀特点及应用前景 | 第15页 |
| ·真空蒸镀铝薄膜 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射 | 第16-21页 |
| ·溅射镀膜原理 | 第16-17页 |
| ·直流溅射 | 第17页 |
| ·射频溅射 | 第17-18页 |
| ·磁控溅射技术 | 第18页 |
| ·磁控溅射沉积镀膜机理 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射特点及应用前景 | 第19-20页 |
| ·磁控溅射铝薄膜 | 第20-21页 |
| ·蒸镀/磁控溅射法制备铝合金薄膜的研究进展 | 第21-23页 |
| ·Al-Mn合金薄膜 | 第21页 |
| ·Al-Ti合金薄膜 | 第21-22页 |
| ·Al-Ni合金薄膜 | 第22页 |
| ·Al-Mg合金薄膜 | 第22页 |
| ·Al-Zn合金薄膜 | 第22-23页 |
| ·本文的工作内容、目的和意义 | 第23-25页 |
| ·研究铝基薄膜的意义及其应用前景 | 第23页 |
| ·目前工作的问题及难点 | 第23-24页 |
| ·本文的工作内容 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方法 | 第25-32页 |
| ·试剂、材料及仪器 | 第25页 |
| ·基片的预处理工艺 | 第25-26页 |
| ·蒸镀法制备Al及Al-Mn薄膜 | 第26-29页 |
| ·蒸镀设备介绍 | 第26-27页 |
| ·电阻蒸发源的选择 | 第27-28页 |
| ·蒸发源的制备 | 第28页 |
| ·薄膜的制备 | 第28-29页 |
| ·镀膜的污染性、重复性问题 | 第29页 |
| ·直流磁控溅射法制备Al及Al-Mg薄膜 | 第29-31页 |
| ·磁控溅射设备介绍 | 第29-30页 |
| ·靶材的选择 | 第30页 |
| ·薄膜的制备 | 第30-31页 |
| ·薄膜性能测试 | 第31-32页 |
| ·薄膜剖面组织 | 第31页 |
| ·物相分析 | 第31页 |
| ·薄膜表面形貌及能谱分析 | 第31页 |
| ·薄膜的结合力 | 第31页 |
| ·薄膜的耐蚀性 | 第31-32页 |
| 第三章 真空蒸镀Al及Al-Mn合金薄膜的组织、结构与性能 | 第32-51页 |
| ·蒸镀Al薄膜的制备过程 | 第32-33页 |
| ·不同基片前处理工艺对膜层性能的影响 | 第33-35页 |
| ·不同前处理工艺下Al膜的表面形貌 | 第33-34页 |
| ·不同前处理工艺下Al薄膜的耐腐蚀性能 | 第34页 |
| ·不同前处理工艺下Al薄膜的结合力 | 第34-35页 |
| ·薄膜厚度对Al薄膜性能的影响 | 第35-40页 |
| ·不同厚度Al薄膜的宏观与剖面形貌 | 第35-36页 |
| ·Al薄膜的结构及成分分析 | 第36-37页 |
| ·不同厚度下Al薄膜的表面形貌 | 第37-38页 |
| ·不同厚度下Al薄膜的耐蚀性 | 第38-39页 |
| ·不同厚度下Al薄膜的结合力 | 第39-40页 |
| ·蒸发速率对Al薄膜性能的影响 | 第40-42页 |
| ·不同蒸发速率下Al薄膜的表面形貌 | 第40页 |
| ·不同蒸发速率下Al薄膜的耐蚀性 | 第40-41页 |
| ·不同蒸发速率下Al薄膜的结合力 | 第41-42页 |
| ·退火对Al薄膜性能的影响 | 第42-46页 |
| ·退火后Al薄膜的结构 | 第42-43页 |
| ·退火后Al薄膜的表面形貌 | 第43-44页 |
| ·退火后Al薄膜的耐蚀性 | 第44-45页 |
| ·退火后Al薄膜的结合力 | 第45-46页 |
| ·Al-Mn合金薄膜 | 第46-50页 |
| ·Al-Mn合金薄膜的结构 | 第46-47页 |
| ·Al-Mn合金薄膜的表面形貌 | 第47-48页 |
| ·Al-Mn合金薄膜的耐蚀性 | 第48-49页 |
| ·Al-Mn合金薄膜的结合力 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 磁控溅射Al及Al-Mg合金薄膜的组织、结构与性能 | 第51-67页 |
| ·磁控溅射Al及Al-Mg合金薄膜的制备过程 | 第51-52页 |
| ·直流磁控溅射工艺参数 | 第51-52页 |
| ·磁控溅射问题及解决方法 | 第52页 |
| ·磁控溅射纯Al薄膜的性能分析 | 第52-56页 |
| ·Al薄膜的外观及表面形貌 | 第52-54页 |
| ·Al 薄膜的结构及成分分析 | 第54-55页 |
| ·Al 薄膜的耐蚀性能 | 第55页 |
| ·Al 薄膜的结合力 | 第55-56页 |
| ·磁控溅射Al-Mg合金薄膜 | 第56页 |
| ·不同靶材电流下Al-Mg合金薄膜的性能分析 | 第56-60页 |
| ·不同靶材电流下Al-Mg合金薄膜的表面形貌 | 第56-57页 |
| ·不同靶材电流下Al-Mg合金薄膜的结构及成分 | 第57-59页 |
| ·不同靶材电流下Al-Mg合金薄膜的耐蚀性能 | 第59-60页 |
| ·不同靶材电流下对Al-Mg合金薄膜的结合力 | 第60页 |
| ·不同厚度Al-Mg合金薄膜的性能分析 | 第60-64页 |
| ·不同厚度下Al-Mg合金薄膜的表面形貌 | 第60-61页 |
| ·不同厚度下Al-Mg合金薄膜的结构及成分 | 第61-62页 |
| ·不同厚度下Al-Mg合金薄膜的耐蚀性能 | 第62-63页 |
| ·不同厚度下Al-Mg合金薄膜的结合力 | 第63-64页 |
| ·蒸镀/磁控溅射纯Al薄膜的性能比较 | 第64-66页 |
| ·薄膜表面形貌的比较 | 第64页 |
| ·薄膜耐蚀性的比较 | 第64-65页 |
| ·薄膜结合力的比较 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |