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1450nm大功率半导体激光器阵列研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 引言第8-17页
   ·半导体激光器的发展概论第8-10页
   ·半导体激光器发展现状与趋势第10-13页
   ·大功率半导体激光器的研究与应用第13-17页
第二章 大功率半导体激光器基本理论第17-38页
   ·单管量子阱基本理论第17-23页
     ·量子阱中的限制态第18-22页
     ·在量子阱中的态密度第22-23页
   ·1450nm半导体激光器的量子阱结构的设计第23-29页
     ·GaInAs/InGaAsP量子阱结构的设计第24-26页
     ·计算结果及讨论第26-29页
   ·大功率半导体激光器阵列热理论第29-36页
     ·热源产生原因第29-32页
     ·大功率激光器阵列的热功率第32页
     ·热传导第32-33页
     ·大功率激光器阵列的热阻第33页
     ·大功率激光器阵列的温度特性第33-36页
   ·大功率激光器阵列条(bar)的优化设计第36-38页
第三章 1450nm大功率半导体激光器阵列设计第38-49页
   ·1450nm大功率半导体激光器阵列条第38-39页
   ·热沉材料的优化选取第39-41页
   ·新型无源热沉冷却大功率半导体激光器阵列设计第41-42页
   ·系统热阻的理论计算第42-45页
     ·系统热传导第42-44页
     ·系统热阻第44-45页
   ·阵列封装第45-49页
     ·激光器阵列条的烧结第45-46页
     ·激光器列阵的封装结构第46-47页
     ·1450nm半导体激光器的封装第47-49页
第四章 1450nm大功率半导体激光器工艺设计与分析第49-55页
   ·工艺流程与要求第49-50页
     ·工艺流程第49页
     ·工艺要求第49-50页
   ·关键工艺第50-55页
     ·外延生长第50-51页
     ·衬底的制备和选取第51-52页
     ·SiO_2掩膜制备第52页
     ·光刻和腐蚀第52页
     ·低阻欧姆接触工艺第52-53页
     ·腔面镀膜技术第53-54页
     ·烧焊第54-55页
第五章 可靠性分析第55-57页
   ·半导体激光器退化原因第55-56页
   ·半导体激光器可靠性要求第56-57页
第六章 主要性能参数和特性曲线第57-59页
结束语第59-60页
参考文献第60-63页
致谢第63页

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