| 第一章 引言 | 第1-17页 |
| 1 研究背景 | 第9-12页 |
| 2 研究现状和内容 | 第12-15页 |
| 参考文献 | 第15-17页 |
| 第二章 Ba_(1-x)Sr_xTiO_3材料简介 | 第17-26页 |
| 1 铁电材料 | 第17-19页 |
| 2 Ba_(1-x)Sr_xTiO_3材料简介 | 第19-22页 |
| 3 BST薄膜的漏电流原理 | 第22-25页 |
| 参考文献 | 第25-26页 |
| 第三章 BST薄膜的制备和分析测试方法 | 第26-38页 |
| 1 溶胶-凝胶法(Sol-Gel)理论 | 第26-28页 |
| 2 Sol-Gel法制备BST薄膜 | 第28-33页 |
| 3 电极的制备 | 第33-35页 |
| 4 薄膜性质的测试方法 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第四章 采用非晶/多晶型多层膜改善Ba_(0.8)Sr_(0.2)TiO_3薄膜漏电流性能 | 第38-44页 |
| 1 实验方法 | 第38页 |
| 2 结果与讨论 | 第38-43页 |
| 3 小结 | 第43-44页 |
| 第五章 镍酸镧(LaNiO_3)缓冲层对(Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜漏电流及介电性能的影响 | 第44-51页 |
| 1 LaNiO_3薄膜的制备 | 第44-45页 |
| 2 LaNiO_3薄膜的形成过程 | 第45-46页 |
| 3 引入LaNiO_3缓冲层后BST薄膜的性质 | 第46-50页 |
| 4 小结 | 第50-51页 |
| 第六章 小结 | 第51-53页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
