| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-45页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·基片材料的性能要求 | 第14-15页 |
| ·电子封装陶瓷基片材料 | 第15-24页 |
| ·氧化铝陶瓷基片 | 第17-18页 |
| ·AlN 陶瓷基片 | 第18-24页 |
| ·AlN 材料的制备技术 | 第24-28页 |
| ·铝粉直接氮化法 | 第24-25页 |
| ·等离子化学合成AlN 粉末 | 第25页 |
| ·化学气相沉积法 | 第25-26页 |
| ·溶胶－凝胶法 | 第26-27页 |
| ·Al_2O_3 的碳热还原氮化法 | 第27-28页 |
| ·AlN 陶瓷的致密化工艺 | 第28-30页 |
| ·碳热还原氮化法制备AlN 的机理研究 | 第30-34页 |
| ·本课题研究的背景 | 第34页 |
| ·研究内容及研究路线 | 第34-37页 |
| ·研究内容 | 第34-35页 |
| ·氧化铝碳热还原法直接制备氮化铝陶瓷基片的工艺路线 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-45页 |
| 第二章 实验材料与基本测试方法 | 第45-52页 |
| ·实验材料 | 第45-48页 |
| ·本实验所用的主要原材料 | 第45-46页 |
| ·配方总表 | 第46-48页 |
| ·试样制备 | 第48-49页 |
| ·基本测试方法 | 第49-52页 |
| 第三章 氧化铝－碳水基料浆的制备及流变学特性研究 | 第52-77页 |
| ·前言 | 第52-59页 |
| ·凝胶注模成型工艺简介 | 第52-55页 |
| ·悬浮体的粘度 | 第55-56页 |
| ·非牛顿悬浮体的流动曲线及流体类型 | 第56-59页 |
| ·氧化铝陶瓷料浆的制备 | 第59-60页 |
| ·配料 | 第59页 |
| ·球磨混合 | 第59页 |
| ·真空排除气泡 | 第59-60页 |
| ·料浆凝胶 | 第60页 |
| ·水基氧化铝－碳陶瓷料浆特性的影响因素 | 第60-72页 |
| ·PH 值的影响 | 第60-63页 |
| ·固含量的影响 | 第63-66页 |
| ·分散剂的影响 | 第66-70页 |
| ·球磨工艺的影响 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第四章 氧化铝－碳水基料浆的凝胶过程研究 | 第77-89页 |
| ·引言 | 第77-78页 |
| ·凝胶 | 第77页 |
| ·凝胶结构 | 第77-78页 |
| ·凝胶的分子学机理 | 第78-81页 |
| ·凝胶方式 | 第81-86页 |
| ·加热凝胶 | 第81-83页 |
| ·催化剂凝胶 | 第83-85页 |
| ·氧化还原体系引发凝胶 | 第85-86页 |
| ·单体浓度对凝胶过程的影响 | 第86页 |
| ·凝胶注模过程中凝胶的热效应 | 第86-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-89页 |
| 第五章 氧化铝－碳陶瓷坯体的干燥过程与表征 | 第89-106页 |
| ·引言 | 第89页 |
| ·实验过程 | 第89-90页 |
| ·素坯的制备 | 第89页 |
| ·素坯的干燥 | 第89-90页 |
| ·素坯的结构与表征 | 第90页 |
| ·素坯片的热分析表征 | 第90页 |
| ·实验结果与讨论 | 第90-95页 |
| ·凝胶注模陶瓷坯片的干燥机理 | 第90-92页 |
| ·凝胶注模陶瓷坯片的干燥的实验结果 | 第92-95页 |
| ·凝胶铸陶瓷坯体密度的研究 | 第95-96页 |
| ·单体和交联剂比例的影响规律 | 第95页 |
| ·料浆中单体含量的影响规律 | 第95-96页 |
| ·料浆中固含量的影响规律 | 第96页 |
| ·凝胶注模成型坯片强度的研究 | 第96-97页 |
| ·凝胶注模成型坯片的孔隙分布研究 | 第97页 |
| ·凝胶注模成型坯片的热分析 | 第97-100页 |
| ·凝胶注模成型坯片排胶后内部孔隙的分布 | 第100页 |
| ·凝胶注模成型坯片的微观结构 | 第100-104页 |
| ·排胶前坯片内部的形貌特征 | 第100-102页 |
| ·氮气氛下排胶后坯片内部的形貌特征 | 第102-104页 |
| ·本章总结 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-106页 |
| 第六章 碳热还原氮化的工艺与机理研究 | 第106-137页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·实验过程 | 第106-108页 |
| ·物相分析 | 第108页 |
| ·结果与讨论 | 第108-123页 |
| ·当选择CaF_2作为反应助剂时 | 第108-114页 |
| ·以Y_2O_3作为反应助剂 | 第114-119页 |
| ·当选择CaF_2和Y_2O_3作为复合反应助剂时 | 第119页 |
| ·当选择CaF_2 和YF_3 作为复合反应助剂时 | 第119-123页 |
| ·基片成分均匀性研究 | 第123页 |
| ·Al_2O_3－C－N2 系统热力学分析 | 第123-128页 |
| ·碳热还原氮化机理与模型 | 第128-133页 |
| ·Al_2O_3 还原并氮化的气相反应模型 | 第129页 |
| ·Al_2O_3 蒸发分解并氮化的气相反应模型 | 第129-131页 |
| ·固相反应扩散模型 | 第131页 |
| ·界面反应控制模型 | 第131-132页 |
| ·矿化剂催化反应模型 | 第132-133页 |
| ·气－固反应模型 | 第133页 |
| ·本章总结 | 第133-135页 |
| 参考文献 | 第135-137页 |
| 第七章 不同反应烧结体的热导率和显微结构 | 第137-163页 |
| ·氟化钙作为反应助剂 | 第137-145页 |
| ·选择CaF_2 的依据 | 第137-138页 |
| ·单一CaF_2作为添加剂时反应烧结体的密度和热导率的测试 | 第138页 |
| ·氟化钙添加量对反应产物的密度和热导率的影响 | 第138-140页 |
| ·单一氟化钙为助剂时的反应机理 | 第140-142页 |
| ·单一CaF_2作为添加剂时反应烧结体的断口形貌 | 第142-145页 |
| ·氧化钇作为反应助剂 | 第145-151页 |
| ·选择Y_2O_3 的依据 | 第145-146页 |
| ·单一Y_2O_3作为添加剂时反应烧结体的密度和热导率的测试 | 第146页 |
| ·氧化钇添加量对反应产物的密度和热导率的影响 | 第146-149页 |
| ·单一氧化钇为助剂时的反应机理 | 第149-150页 |
| ·单一Y_2O_3作为添加剂时反应烧结体的断口形貌 | 第150-151页 |
| ·CaF_2－Y_2O_3 作为复合反应助剂 | 第151-155页 |
| ·CaF_2－Y_2O_3 作为复合助剂时反应烧结体的密度和热导率的测试 | 第151-152页 |
| ·反应温度对反应烧结体的密度的影响 | 第152-153页 |
| ·CaF_2－Y_2O_3 作为复合助剂时的反应机理 | 第153-154页 |
| ·CaF_2－Y_2O_3 作为复合助剂时反应烧结体的断口形貌 | 第154-155页 |
| ·CaF_2－YF_3 作为复合反应助剂 | 第155-160页 |
| ·选择YF_3 的依据 | 第155-156页 |
| ·CaF_2－YF_3 作为复合助剂时反应烧结体的密度和热导率的测试 | 第156页 |
| ·反应温度对反应烧结体的密度的影响 | 第156-158页 |
| ·CaF_2－YF_3 作为复合助剂时的反应机理 | 第158-159页 |
| ·CaF_2－YF_3 作为复合助剂时反应烧结体的断口形貌 | 第159-160页 |
| ·本章小结 | 第160-162页 |
| 参考文献 | 第162-163页 |
| 第八章 结论 | 第163-165页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第165-166页 |
| 致谢 | 第166页 |
