| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-20页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·扫描探针显微镜的工作原理及其局限性 | 第14-18页 |
| ·扫描隧道显微镜（STM）的产生及工作原理 | 第14-15页 |
| ·STM 的局限性 | 第15-16页 |
| ·扫描力显微镜（SFM）的工作原理 | 第16-17页 |
| ·扫描力显微镜的几种工作模式 | 第17页 |
| ·AFM 的局限性 | 第17-18页 |
| ·扫描探针显微镜的发展及现状 | 第18-19页 |
| ·课题研究内容及来源 | 第19-20页 |
| ·研究内容 | 第19页 |
| ·课题来源 | 第19-20页 |
| 第2章 基于PVDF 振动梁的扫描探针显微系统构成 | 第20-22页 |
| ·系统整体的工作原理 | 第20页 |
| ·系统组成 | 第20-22页 |
| 第3章 电化学法制备钨探针 | 第22-27页 |
| ·传统电化学法制备微细电极 | 第22-23页 |
| ·改进的直流电化学法制备钨针尖 | 第23-27页 |
| ·探针材料的选择 | 第23页 |
| ·改进的直流电化学研磨制备法 | 第23-27页 |
| ·传统电化学研磨法制备钨探针 | 第23-24页 |
| ·改进的直流电化学研磨法制备钨探针 | 第24-27页 |
| 第4章 PVDF 薄膜振动梁式轻敲测头的构成及性能 | 第27-33页 |
| ·基于PVDF 薄膜振动梁的轻敲式扫描测头的构成 | 第27-28页 |
| ·基于PVDF 薄膜振动梁的轻敲式扫描测头的测量方法 | 第28页 |
| ·基于PVDF 薄膜振动梁的轻敲式扫描测头的性能研究 | 第28-33页 |
| ·PVDF 薄膜振动梁的振动频率 | 第28-29页 |
| ·振动梁的弹性常数k | 第29-31页 |
| ·悬臂的品质因数Q | 第31-32页 |
| ·薄膜弧度 | 第32-33页 |
| 第5章 控制信号的检测、处理和采集 | 第33-38页 |
| ·电荷信号检测 | 第33-35页 |
| ·电压信号处理 | 第35-36页 |
| ·直流电压信号的采集 | 第36-38页 |
| 第6章 纳米定位台及反馈控制 | 第38-47页 |
| ·纳米位移台 | 第38-41页 |
| ·宏动部分 | 第38-39页 |
| ·微动部分 | 第39页 |
| ·微动部分的控制方式 | 第39-41页 |
| ·数字PI 调节器设计 | 第41-43页 |
| ·控制软件设计 | 第43-47页 |
| ·软件系统整体框架 | 第43页 |
| ·力曲线测试程序 | 第43-44页 |
| ·反馈控制程序 | 第44-45页 |
| ·试样扫描及图形显示程序 | 第45-47页 |
| 第7章 系统性能评价 | 第47-56页 |
| ·系统结构实物图 | 第47-48页 |
| ·系统性能评价 | 第48-56页 |
| ·系统噪声测试 | 第48-51页 |
| ·数据采集单元自身的噪声 | 第48-49页 |
| ·纳米微动台的Z 向定位噪声 | 第49-50页 |
| ·处理电路的噪声 | 第50-51页 |
| ·力曲线测试及比较电压设定值的选取 | 第51-52页 |
| ·系统动态响应测试 | 第52-55页 |
| ·扫描试样的图像及分析 | 第55-56页 |
| 第8章 总结与展望 | 第56-59页 |
| ·研究总结 | 第56-57页 |
| ·存在的问题及工作展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第62-63页 |
