收集环境振动能微压电发电装置的制作与测试
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·压电型发电装置的研究现状 | 第11-15页 |
| ·非 MEMS型压电发电装置 | 第12-13页 |
| ·MEMS型压电发电装置 | 第13-15页 |
| ·本文研究工作 | 第15-16页 |
| 2 微压电悬臂梁结构设计与仿真分析 | 第16-24页 |
| ·微型压电发电装置的结构设计 | 第16-17页 |
| ·微压电悬臂梁发电系统的仿真分析 | 第17-24页 |
| ·悬臂梁结构的简化模型 | 第17-18页 |
| ·Ansys前处理过程 | 第18页 |
| ·压电悬臂梁的仿真分析 | 第18-24页 |
| 3 微型硅基压电悬臂梁的制作工艺 | 第24-51页 |
| ·PZT压电薄膜的制备 | 第24-30页 |
| ·PZT压电薄膜制备方法及特点 | 第24-27页 |
| ·PZT前驱体溶胶及压电薄膜的制备 | 第27-30页 |
| ·PZT压电薄膜的性能表征与分析 | 第30-34页 |
| ·PZT薄膜的表面形貌分析 | 第30-31页 |
| ·PZT薄膜的XRD分析 | 第31页 |
| ·PZT薄膜的介电性能分析 | 第31-32页 |
| ·PZT薄膜的铁电性能分析 | 第32-34页 |
| ·微压电悬臂梁的制作工艺研究 | 第34-48页 |
| ·SiO_2绝缘层的制备 | 第34-35页 |
| ·刻蚀SiO_2窗口 | 第35-37页 |
| ·干法刻蚀背面质量块 | 第37-40页 |
| ·上下电极的制备 | 第40-44页 |
| ·PZT薄膜的腐蚀 | 第44-47页 |
| ·悬臂梁的释放 | 第47-48页 |
| ·硅基压电悬臂梁的制作工艺流程 | 第48-51页 |
| 4 压电发电装置的性能测试 | 第51-56页 |
| ·硅基微型压电悬臂梁的性能测试 | 第51-54页 |
| ·微压电悬臂梁的静态测试 | 第51-52页 |
| ·微压电悬臂梁的准静态测试 | 第52-53页 |
| ·微压电悬臂梁固有频率测试 | 第53-54页 |
| ·微压电发电装置输出特性测试 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
