| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| ·概述 | 第10-11页 |
| ·微光机电系统的定义及发展历史 | 第11-12页 |
| ·MOEMS 应用与空间光通信的优势及所面临的问题 | 第12-13页 |
| ·论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 MOEMS 现状及应用 | 第15-29页 |
| ·国外发展动态 | 第15-16页 |
| ·我国的发展动态 | 第16-17页 |
| ·MOEMS 的主要构成 | 第17-18页 |
| ·微光学元件 | 第17页 |
| ·微定位装置 | 第17-18页 |
| ·微驱动器 | 第18页 |
| ·MOEMS 的制造工艺 | 第18-22页 |
| ·体硅加工工艺 | 第18-20页 |
| ·机械加工技术 | 第20页 |
| ·表面微加工技术 | 第20页 |
| ·LIGA 加工技术 | 第20-22页 |
| ·MOEMS 的应用 | 第22-26页 |
| ·在信息与通讯领域中应用 | 第22-23页 |
| ·在生物医学领域中的应用 | 第23-24页 |
| ·在航空航天及军事中的应用 | 第24-26页 |
| ·MOEMS 的前景及面临的困难 | 第26-29页 |
| ·MOEMS 的发展趋势 | 第27-28页 |
| ·MOEMS 面临的挑战 | 第28-29页 |
| 第三章 MOEMS 应用于空间光通信所面临的问题 | 第29-36页 |
| ·空间光通信系统的组成 | 第29-32页 |
| ·收发子系统 | 第30-31页 |
| ·捕获、对准、跟踪子系统（APT) | 第31-32页 |
| ·调制与接收技术 | 第32页 |
| ·影响空间光通信系统性能的因素 | 第32-33页 |
| ·空间光通信的关键技术 | 第33-34页 |
| ·MOEMS 用于空间光通信的影响因素 | 第34-36页 |
| ·空间热环境 | 第34页 |
| ·空间振动环境 | 第34-36页 |
| 第四章 光转发器镜面热变形有限元分析 | 第36-55页 |
| ·概述 | 第36-37页 |
| ·ANSYS 简介 | 第37-39页 |
| ·ANSYS 的发展历史 | 第37页 |
| ·ANSYS 的主要组成与特点 | 第37-38页 |
| ·ANSYS 的功能 | 第38-39页 |
| ·热变形理论模型 | 第39-45页 |
| ·弹性力学的基本方程 | 第39-41页 |
| ·平面问题 | 第41-42页 |
| ·热弹性力学的基本方程 | 第42-44页 |
| ·轴对称问题的热弹性力学基本方程 | 第44-45页 |
| ·激光辐照数学模型 | 第45-47页 |
| ·ANSYS 有限元仿真 | 第47-52页 |
| ·减小热变形措施的讨论 | 第52-55页 |
| 第五章 振动对空间光通信链路的影响 | 第55-64页 |
| ·空间振动源分析及对系统的影响 | 第55-57页 |
| ·卫星平台振动对星间光通信的影响 | 第57-59页 |
| ·卫星平台振动抑制技术研究 | 第59-63页 |
| ·被动隔离抑制 | 第59-60页 |
| ·带宽自适应抑制 | 第60-62页 |
| ·其他抑制措施 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第69-70页 |