| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 太阳能电池的发展历史 | 第14-16页 |
| 1.3 硅基太阳能电池 | 第16-19页 |
| 1.4 本论文主要内容 | 第19-22页 |
| 第二章 样品的制备及表征 | 第22-35页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 样品的制备 | 第22-30页 |
| 2.2.1 等离子体增强化学气相沉积 | 第22-28页 |
| 2.2.2 磁控溅射 | 第28-30页 |
| 2.3 样品的表征 | 第30-34页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪(XRD) | 第30-31页 |
| 2.3.2 拉曼光谱(Raman) | 第31页 |
| 2.3.3 傅里叶变换红外光谱(FTIR) | 第31-32页 |
| 2.3.4 扫描电子显微镜(SEM) | 第32页 |
| 2.3.5 透射电子显微镜(TEM) | 第32-33页 |
| 2.3.6 紫外-可见分光光度计(UV-VIS) | 第33页 |
| 2.3.7 IV测试仪 | 第33-34页 |
| 2.3.8 外量子效率测试仪 | 第34页 |
| 2.4 本章总结 | 第34-35页 |
| 第三章 硅量子点镶嵌于富硅非晶碳化硅薄膜的制备及性能研究 | 第35-52页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 硅量子点镶嵌于富硅非晶碳化硅薄膜的制备 | 第36-38页 |
| 3.3 功率对薄膜结构及性能的影响 | 第38-45页 |
| 3.3.1 薄膜的结构 | 第38-43页 |
| 3.3.2 薄膜的光学性质 | 第43-45页 |
| 3.3.3 小结 | 第45页 |
| 3.4 退火温度对薄膜的结构及性能的影响 | 第45-51页 |
| 3.4.1 薄膜的结构 | 第45-50页 |
| 3.4.2 薄膜的光学性质 | 第50页 |
| 3.4.3 小结 | 第50-51页 |
| 3.5 本章总结 | 第51-52页 |
| 第四章 氢化纳米晶体硅薄膜的制备及性能研究 | 第52-57页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 氢化纳米晶体硅薄膜的制备 | 第52-53页 |
| 4.3 XRD结果分析 | 第53-54页 |
| 4.4 Raman结果分析 | 第54-56页 |
| 4.5 本章总结 | 第56-57页 |
| 第五章 氧化锌纳米棒阵列作太阳能电池减反射层研究 | 第57-73页 |
| 5.1 引言 | 第57-58页 |
| 5.2 样品的制备 | 第58-63页 |
| 5.2.1 实验原料及实验仪器 | 第58-59页 |
| 5.2.2 多晶硅太阳能电池减反射层的制备 | 第59-63页 |
| 5.3 氧化锌纳米棒阵列结构 | 第63-65页 |
| 5.4 氧化锌纳米棒阵列的减反射性能研究 | 第65-67页 |
| 5.5 多晶硅太阳能电池的电学性能研究 | 第67-72页 |
| 5.5.1 太阳能电池的基本参数 | 第68-69页 |
| 5.5.2 多晶硅太阳能电池的测试 | 第69-72页 |
| 5.6 本章总结 | 第72-73页 |
| 第六章 结果与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 硕士期间获得的科研成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |