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钨掺杂二氧化钒纳米薄膜的制备及其性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第1章 绪论第16-28页
    1.1 引言第16-19页
        1.1.1 二氧化钒的理化特性和结构第16-18页
        1.1.2 V02相变时能带变化第18-19页
    1.2 二氧化钒薄膜的性质第19-20页
        1.2.1 相变原理及相变温度第19页
        1.2.2 电阻突变和红外光透过率第19-20页
        1.2.3 其它特性第20页
    1.3 二氧化钒薄膜的制备方法第20-22页
        1.3.1 真空蒸镀法第20页
        1.3.2 溅射法第20-21页
        1.3.3 化学气相沉积法(CVD)第21页
        1.3.4 溶胶-凝胶法第21-22页
        1.3.5 激光脉冲沉积法(PLD)第22页
    1.4 国内外研究现状第22-24页
    1.5 二氧化钒薄膜的应用进展第24-26页
        1.5.1 光存储材料第24页
        1.5.2 智能窗和太阳能控温材料第24-25页
        1.5.3 红外辐射热量计和热敏电阻第25-26页
        1.5.4 红外脉冲激光照射保护膜第26页
    1.6 论文选题思路第26-28页
        1.6.1 论文的研究目的和意义第26-27页
        1.6.2 论文主要研究内容第27-28页
第2章 掺钨二氧化钒薄膜的制备第28-33页
    2.1 掺杂二氧化钒薄膜的制备方法第28-29页
        2.1.1 真空蒸镀掺杂法第28页
        2.1.2 溅射掺杂法第28页
        2.1.3 溶胶-凝胶掺杂法第28-29页
        2.1.4 离子注入掺杂法第29页
        2.1.5 水热掺杂法第29页
    2.2 有机溶胶-凝胶法的基本原理及优缺点第29-30页
    2.3 实验方法第30-33页
        2.3.1 实验原料第31页
        2.3.2 实验设备第31页
        2.3.3 基片清洗第31-32页
        2.3.4 溶胶制备第32页
        2.3.5 掺钨薄膜的制备第32-33页
第3章 掺钨二氧化钒薄膜的性能研究第33-52页
    3.1 X射线衍射测试第33-39页
        3.1.1 测试仪器第33页
        3.1.2 测试原理第33页
        3.1.3 测试结果分析第33-39页
    3.2 掺钨二氧化钒薄膜的形貌测试第39-42页
        3.2.1 测试仪器第39页
        3.2.2 测试原理第39页
        3.2.3 测试结果分析第39-42页
    3.3 掺钨二氧化钒的差热分析第42-43页
        3.3.1 测试仪器第42页
        3.3.2 测试原理第42-43页
        3.3.3 测试结果分析第43页
    3.4 掺钨二氧化钒薄膜的透过率测试第43-52页
        3.4.1 测试仪器第43-44页
        3.4.2 测试原理第44页
        3.4.3 测试结果分析第44-52页
结论第52-54页
参考文献第54-63页
附录第63-64页
致谢第64页

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