连续激光双光子聚合微纳加工系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本论文主要工作 | 第11-13页 |
| 2 双光子聚合微纳加工系统原理 | 第13-20页 |
| 2.1 双光子吸收聚合原理 | 第13-15页 |
| 2.2 分界面定位原理 | 第15-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 双光子聚合微纳加工系统搭建 | 第20-51页 |
| 3.1 系统整体结构 | 第20-22页 |
| 3.2 系统硬件 | 第22-26页 |
| 3.3 系统软件 | 第26-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 实验结果与分析 | 第51-56页 |
| 4.1 光路调整 | 第51-52页 |
| 4.2 激光功率控制 | 第52-53页 |
| 4.3 分界面定位 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 微纳结构的制作 | 第56-66页 |
| 5.1 二维结构制作 | 第56-62页 |
| 5.2 二维金属结构制作 | 第62-64页 |
| 5.3 三维结构制作 | 第64-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 全文总结 | 第66-67页 |
| 6.2 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第73页 |
