| 致谢 | 第6-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 引言 | 第16-24页 |
| 1.1 课题研究背景以及意义 | 第16-17页 |
| 1.2 基于点衍射的三坐标测量系统的发展现状 | 第17-21页 |
| 1.2.1 点衍射干涉测量发展情况 | 第18-20页 |
| 1.2.2 点衍射干涉仪的研究现状 | 第20-21页 |
| 1.2.3 基于点衍射干涉的绝对位移测量研究进展 | 第21页 |
| 1.3 现有本文的主要工作和章节安排 | 第21-24页 |
| 1.3.1 本文的主要工作 | 第21-22页 |
| 1.3.2 本文的章节安排 | 第22-23页 |
| 1.3.3 本文的创新点和难点 | 第23-24页 |
| 2 基于点衍射干涉技术的三维绝对位移测量原理 | 第24-33页 |
| 2.1 数学模型推导与改进 | 第24-27页 |
| 2.1.1 数学模型推导 | 第24-26页 |
| 2.1.2 数学模型的改进 | 第26-27页 |
| 2.2 系统的光路与硬件平台原理 | 第27-31页 |
| 2.2.1 系统光路原理 | 第27-28页 |
| 2.2.2 五步移相还原相位差 | 第28-29页 |
| 2.2.3 相位解包裹 | 第29-31页 |
| 2.3 点衍射探头的制作原理 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 点衍射三维绝对位移求解算法研究与改进 | 第33-43页 |
| 3.1 非线性迭代方法 | 第33-36页 |
| 3.1.1 多元非线性问题的牛顿迭代法 | 第33-35页 |
| 3.1.2 Levenberg-Marquardt最小二乘优化方法 | 第35-36页 |
| 3.2 智能优化算法 | 第36-38页 |
| 3.2.1 遗传优化算法 | 第36-37页 |
| 3.2.2 模拟退火优化算法 | 第37-38页 |
| 3.3 点衍射三维绝对位移测量的快速搜索粒子群方法 | 第38-42页 |
| 3.3.1 快速搜索方案 | 第38-39页 |
| 3.3.2 粒子群算法 | 第39-40页 |
| 3.3.3 快速搜索粒子群算法仿真 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 点衍射波前高精度标定方法 | 第43-54页 |
| 4.1 FDTD波前误差分析原理 | 第43-46页 |
| 4.1.1 二维FDTD方法 | 第44-45页 |
| 4.1.2 亚波长点衍射光纤建模 | 第45-46页 |
| 4.1.3 FDTD仿真流程 | 第46页 |
| 4.2 亚波长孔径光纤点衍射干涉系统的波前误差校正与标定 | 第46-53页 |
| 4.2.1 基于三坐标重构的干涉波前误差预校正 | 第47-48页 |
| 4.2.2 基于对称偏移补偿的干涉波前误差校正方法 | 第48-50页 |
| 4.2.3 亚波长孔径光纤的波前标定 | 第50-51页 |
| 4.2.4 点衍射波前误差标定方法仿真 | 第51-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 点衍射干涉三维绝对位移测量系统误差仿真分析 | 第54-60页 |
| 5.1 系统误差 | 第54-56页 |
| 5.1.1 球面波前标定仿真与误差分析 | 第54-55页 |
| 5.1.2 PZT移相器的移相误差 | 第55-56页 |
| 5.1.3 成像系统误差 | 第56页 |
| 5.1.4 迭代算法误差 | 第56页 |
| 5.2 随机误差 | 第56-59页 |
| 5.2.1 激光器频率与光强稳定性误差 | 第57页 |
| 5.2.2 环境温度压强的影响 | 第57-58页 |
| 5.2.3 环境震动的影响 | 第58-59页 |
| 5.3 系统理论检测精度分析 | 第59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 点衍射干涉三维绝对位移测量实验 | 第60-69页 |
| 6.1 点衍射干涉三维绝对位移测量实验布局 | 第60-63页 |
| 6.1.1 点衍射干涉三维绝对位移测量系统硬件布局 | 第60-62页 |
| 6.1.2 点衍射干涉三维绝对位移测量系统软件平台 | 第62-63页 |
| 6.2 SMA光纤点衍射波前测量分析 | 第63-66页 |
| 6.2.1 结构误差消除结果 | 第64-65页 |
| 6.2.2 点衍射波前测量结果 | 第65-66页 |
| 6.3 点衍射干涉三维绝对位移测量实验结果和分析 | 第66-68页 |
| 6.3.1 测量重复性与稳定性分析 | 第66-67页 |
| 6.3.2 绝对位移测量比对 | 第67页 |
| 6.3.3 绝对位移重构算法比较 | 第67-68页 |
| 6.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 7 总结与展望 | 第69-72页 |
| 7.1 总结 | 第69-70页 |
| 7.2 展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 作者简介 | 第77-78页 |
