| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1. 绪论 | 第16-38页 |
| 1.1 多自由度超声波电机的研究背景 | 第16-17页 |
| 1.2 多自由度超声波电机的分类及特点 | 第17-29页 |
| 1.2.1 旋转型多自由度超声波电机 | 第17-26页 |
| 1.2.2 平动型多自由度超声波电机 | 第26-27页 |
| 1.2.3 旋转-平动型多自由度超声波电机 | 第27-29页 |
| 1.3 多自由度电机的位姿检测技术 | 第29-32页 |
| 1.3.1 接触型检测机构 | 第29-30页 |
| 1.3.2 非接触型检测机构 | 第30-32页 |
| 1.4 多自由度电机的应用举例和前景分析 | 第32-35页 |
| 1.5 多自由度电机的发展方向 | 第35-37页 |
| 1.6 本文研究的主要内容和意义 | 第37-38页 |
| 2. 旋转—直线二自由度超声波电机的分析与设计 | 第38-56页 |
| 2.1 旋转—直线二自由度超声波电机的研究背景 | 第38-41页 |
| 2.1.1 旋转—直线二自由度超声波电机的研究意义 | 第38页 |
| 2.1.2 旋转—直线二自由度超声波电机的研究基础 | 第38-41页 |
| 2.2 旋转—直线二自由度超声波电机的结构设计 | 第41页 |
| 2.3 旋转—直线二自由度超声波电机的运行机理 | 第41-48页 |
| 2.3.1 直线运动模式分析 | 第42-47页 |
| 2.3.2 旋转运动模式分析 | 第47-48页 |
| 2.4 旋转—直线二自由度超声波电机的模态仿真 | 第48-50页 |
| 2.5 旋转—直线二自由度超声波电机的驱动分析 | 第50-55页 |
| 2.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 3. 旋转—直线二自由度超声波电机的数学模型 | 第56-76页 |
| 3.1 超声波电机的谐振振幅的研究意义 | 第56-57页 |
| 3.2 压电材料的损耗分析 | 第57-59页 |
| 3.2.1 压电材料损耗的研究状况 | 第57页 |
| 3.2.2 压电陶瓷的主要性能参数 | 第57-59页 |
| 3.3 基于压电损耗的超声波电机数学模型 | 第59-65页 |
| 3.3.1 直线运动模型 | 第59-63页 |
| 3.3.2 旋转运动模型 | 第63-65页 |
| 3.4 基于压电及金属损耗的超声波电机数学模型 | 第65-71页 |
| 3.4.1 直线运动模型 | 第65-69页 |
| 3.4.2 旋转运动模型 | 第69-71页 |
| 3.5 基于电机数学模型的驱动分析 | 第71-74页 |
| 3.6 本章小结 | 第74-76页 |
| 4. 旋转—直线二自由度超声波电机的仿真与实验研究 | 第76-102页 |
| 4.1 旋转—直线二自由度超声波电机定子的仿真分析 | 第76-87页 |
| 4.1.1 有限元仿真参数设置 | 第76-80页 |
| 4.1.2 有限元仿真结果 | 第80-84页 |
| 4.1.3 有限元仿真结论 | 第84-85页 |
| 4.1.4 有限元仿真与数学模型的比对 | 第85-87页 |
| 4.2 旋转—直线二自由度超声波电机定子的实验分析 | 第87-100页 |
| 4.2.1 旋转—直线二自由度超声波电机的制作 | 第87-91页 |
| 4.2.2 旋转—直线二自由度超声波电机的驱动 | 第91-92页 |
| 4.2.3 旋转—直线二自由度超声波电机的检测 | 第92-95页 |
| 4.2.4 旋转—直线二自由度超声波电机实验结果分析 | 第95-100页 |
| 4.3 本章小结 | 第100-102页 |
| 5. 旋转—直线二自由度超声波电机的优化设计 | 第102-117页 |
| 5.1 电机的参数优化方法 | 第102-103页 |
| 5.2 电机的参数优化设计 | 第103-112页 |
| 5.2.1 基于解析模型和敏感系数的优化方法 | 第103-104页 |
| 5.2.2 参数及其敏感系数的优化分析 | 第104-112页 |
| 5.3 电机的参数优化分析 | 第112-115页 |
| 5.4 电机的参数优化验证 | 第115-116页 |
| 5.5 本章小结 | 第116-117页 |
| 6. 结论与展望 | 第117-119页 |
| 6.1 结论 | 第117页 |
| 6.2 展望 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-131页 |
| 个人简历 | 第131页 |
| 攻读博士学位期间主要的研究成果 | 第131-132页 |
