| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-45页 |
| 1.1 气体传感器概述 | 第9-11页 |
| 1.2 半导体金属氧化物气体传感器 | 第11-19页 |
| 1.2.1 半导体金属氧化物气体传感器类型 | 第11-12页 |
| 1.2.2 半导体金属氧化物气体传感器性能参数 | 第12-14页 |
| 1.2.3 半导体金属氧化物气体传感器响应机理 | 第14-19页 |
| 1.3 金属氧化物合成及结构设计 | 第19-26页 |
| 1.3.1 半导体金属氧化物的合成方法 | 第20-21页 |
| 1.3.2 半导体金属氧化物的结构设计 | 第21-26页 |
| 1.4 挥发性有机污染气体传感器的研究 | 第26-42页 |
| 1.4.1 甲醛 | 第28-31页 |
| 1.4.2 苯系化合物 | 第31-37页 |
| 1.4.3 甲醇 | 第37-39页 |
| 1.4.4 丙酮 | 第39-42页 |
| 1.5 本文选题意义及研究内容 | 第42-45页 |
| 第2章 WO_x簇修饰In_2O_3超薄纳米片对甲醛的传感性能研究 | 第45-61页 |
| 2.1 引言 | 第45-46页 |
| 2.2 合成In_2O_3及WO_x簇修饰的In_2O_3超薄纳米片 | 第46-51页 |
| 2.2.1 实验原料及试剂 | 第46-47页 |
| 2.2.2 合成步骤 | 第47-48页 |
| 2.2.3 材料表征和仪器 | 第48-49页 |
| 2.2.4 气体传感器件的制作过程 | 第49页 |
| 2.2.5 气体传感器传感性能测试方法 | 第49-51页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第51-60页 |
| 2.3.1 超薄In_2O_3及WOx簇修饰的In_2O_3纳米片的结构及表征 | 第51-55页 |
| 2.3.2 WO_x簇修饰的In_2O_3超薄纳米片的传感性能研究 | 第55-59页 |
| 2.3.3 WO_x簇修饰的In_2O_3传感器对甲醛传感机理分析 | 第59-60页 |
| 2.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第3章 α-MoO_3纳米带选择性检测二甲苯的传感性能研究 | 第61-75页 |
| 3.1 引言 | 第61-62页 |
| 3.2 合成α-MoO_3纳米带 | 第62-64页 |
| 3.2.1 实验原料及试剂 | 第62-63页 |
| 3.2.2 合成步骤 | 第63-64页 |
| 3.2.3 材料表征和仪器 | 第64页 |
| 3.2.4 气体传感器件的制作及其测试过程 | 第64页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第64-74页 |
| 3.3.1 α-MoO_3纳米带的结构及表征 | 第64-69页 |
| 3.3.2 α-MoO_3纳米带的传感性能研究 | 第69-74页 |
| 3.4 本章小结 | 第74-75页 |
| 第4章 结论与展望 | 第75-77页 |
| 4.1 结论 | 第75页 |
| 4.2 展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-99页 |
| 作者简介 | 第99-101页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第101-103页 |
| 致谢 | 第103页 |
