| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 锂离子电池的出现及发展过程 | 第13-14页 |
| 1.3 锂离子电池的原理与特点 | 第14-17页 |
| 1.4 锂离子电池的结构组成 | 第17-18页 |
| 1.5 锂离子负极材料概况 | 第18-19页 |
| 1.6 锂离子电池Si基负极材料研究进展 | 第19-25页 |
| 1.6.1 硅负极材料的特点 | 第19-20页 |
| 1.6.2 硅基复合材料 | 第20-21页 |
| 1.6.2.1 硅碳复合材料 | 第20-21页 |
| 1.6.2.2 硅金属复合材料 | 第21页 |
| 1.6.3 硅基纳米线/纳米管 | 第21-22页 |
| 1.6.4 硅基薄膜 | 第22-25页 |
| 1.6.4.1 硅薄膜负极 | 第22-23页 |
| 1.6.4.2 硅复合薄膜负极 | 第23-25页 |
| 1.7 本论文的选题依据和研究内容 | 第25-27页 |
| 1.7.1 选题依据 | 第25页 |
| 1.7.2 研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 薄膜制备及样品表征技术 | 第27-31页 |
| 2.1 磁控溅射工艺 | 第27页 |
| 2.2 薄膜电极的制备 | 第27-28页 |
| 2.3 薄膜样品的结构表征 | 第28-29页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第28页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第28-29页 |
| 2.3.3 透射电子显微镜(TEM) | 第29页 |
| 2.4 电池组装及电化学性能测试 | 第29-31页 |
| 2.4.1 扣式电池的组装 | 第29页 |
| 2.4.2 恒流充放电测试 | 第29页 |
| 2.4.3 交流阻抗测试 | 第29-30页 |
| 2.4.4 循环伏安测试 | 第30-31页 |
| 第三章 多层Si/Ti复合薄膜负极的制备及电化学性能 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 Si/Ti层状相间复合薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 3.3 具有超薄基底Ti层的Ti/Si双层薄膜及其热处理 | 第32-39页 |
| 3.3.1 纯Si薄膜、Ti/Si双层薄膜及其热处理的组织结构 | 第32-34页 |
| 3.3.2 Ti/Si双层薄膜及其热处理对电化学性能的影响 | 第34-39页 |
| 3.4 不同Ti层分布对Si/Ti层状复合薄膜的影响 | 第39-45页 |
| 3.4.1 基底Ti层厚度对Ti-Si双层复合薄膜的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.2 外层Ti对Ti/Si/Ti三明治结构薄膜电化学性能影响 | 第41-42页 |
| 3.4.3 不同层数的等厚度Ti层穿插在硅中对复合薄膜电化学性能影响 | 第42-44页 |
| 3.4.4 总厚度相同、层数不同的Ti层穿插在硅中对薄膜电化学性能的影响 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 Si-M(Ti、Mo)共溅射薄膜的组织结构及电化学性能 | 第47-61页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 Si-M(Ti、Mo)共溅射薄膜的组织结构与电化学性能 | 第47-56页 |
| 4.2.1 Si-M(Ti、Mo)共溅射薄膜的组织与结构表征 | 第48-50页 |
| 4.2.2 Si-M共溅射薄膜的电化学性能 | 第50-56页 |
| 4.3 Si/Ti多层复合薄膜和Si-Ti共溅射薄膜的比较 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 共溅射薄膜的后处理及其电化学性能 | 第61-76页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 Si-Ti/C复合薄膜的组织结构及电化学性能 | 第61-65页 |
| 5.2.1 Si-Ti/C复合薄膜的组织结构表征 | 第61-63页 |
| 5.2.2 Si-Ti/C复合薄膜的电化学性能 | 第63-65页 |
| 5.3 复合薄膜的热处理工艺 | 第65-73页 |
| 5.3.1 Si-Ti共溅射薄膜的热处理 | 第66-69页 |
| 5.3.2 Si-Mo共溅射薄膜的热处理 | 第69-72页 |
| 5.3.3 Si-Ti/C复合薄膜的热处理 | 第72-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-76页 |
| 全文总结及工作展望 | 第76-79页 |
| 全文总结 | 第76-78页 |
| 工作展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |
| 附录 | 第89页 |
