| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 插图索引 | 第13-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-31页 |
| 1.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.2 研究背景 | 第17-18页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第18-29页 |
| 1.3.1 大行程精密运动平台及其关键技术 | 第18-23页 |
| 1.3.2 静压气浮导轨与静压气浮轴承的分析 | 第23-26页 |
| 1.3.3 气浮运动平台的运动控制策略 | 第26-28页 |
| 1.3.4 静压气浮轴承的主动控制技术 | 第28-29页 |
| 1.4 本文的研究内容及结构 | 第29-31页 |
| 第二章 基于微分求积方法的静压气浮轴承静态性能分析 | 第31-61页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 静压气浮轴承动力学模型 | 第31-35页 |
| 2.3 微分求积方法求解雷诺方程 | 第35-41页 |
| 2.3.1 微分求积方法 | 第35-39页 |
| 2.3.2 静压气浮轴承静态性能的微分求积计算方法 | 第39-41页 |
| 2.4 静压气浮轴承静态性能计算的典型算例 | 第41-55页 |
| 2.4.1 单个简单孔式节流的圆板形静压气浮轴承 | 第43-46页 |
| 2.4.2 带浅腔的多孔环形止推轴承 | 第46-50页 |
| 2.4.3 单排孔矩形轴承 | 第50-55页 |
| 2.5 实验研究 | 第55-59页 |
| 2.6 小结 | 第59-61页 |
| 第三章 基于微分求积方法的静压气浮轴承动力学分析 | 第61-89页 |
| 3.1 引言 | 第61页 |
| 3.2 基于微分求积方法的直接数值计算方法 | 第61-70页 |
| 3.3 静压气浮轴承动力学问题求解的典型算例 | 第70-78页 |
| 3.3.1 计算过程 | 第70-72页 |
| 3.3.2 算法与参数 | 第72-75页 |
| 3.3.3 计算算例 | 第75-78页 |
| 3.4 静压气浮轴承的稳定性分析 | 第78-80页 |
| 3.4.1 自激振动及其机理 | 第78页 |
| 3.4.2 稳定性分析方法 | 第78-79页 |
| 3.4.3 基于微分求积方法的稳定性分析 | 第79-80页 |
| 3.5 实验研究 | 第80-87页 |
| 3.6 小结 | 第87-89页 |
| 第四章 精密气浮运动平台的设计与同步控制 | 第89-123页 |
| 4.1 引言 | 第89页 |
| 4.2 精密气浮运动平台的设计 | 第89-95页 |
| 4.3 双电机驱动的同步误差及动力学建模 | 第95-105页 |
| 4.4 精密气浮平台的双电机驱动同步控制策略 | 第105-113页 |
| 4.4.1 基于 PID 的同步控制策略 | 第107-109页 |
| 4.4.2 基于摄动观测器的同步控制策略 | 第109-113页 |
| 4.5 仿真与实验 | 第113-121页 |
| 4.6 小结 | 第121-123页 |
| 第五章 静压气浮轴承主动控制技术在精密气浮平台中的应用 | 第123-139页 |
| 5.1 引言 | 第123页 |
| 5.2 静压气浮轴承的主动补偿技术 | 第123-125页 |
| 5.3 静压气体薄膜驱动的精密定位 | 第125-131页 |
| 5.3.1 驱动原理 | 第125-126页 |
| 5.3.2 系统静态性能分析 | 第126-128页 |
| 5.3.3 系统动态性能分析 | 第128-131页 |
| 5.4 静压气体薄膜驱动的精密定位系统实验研究 | 第131-134页 |
| 5.5 静压气浮轴承主动控制在精密气浮平台中的应用 | 第134-136页 |
| 5.6 小结 | 第136-139页 |
| 第六章 总结与展望 | 第139-141页 |
| 6.1 总结 | 第139-140页 |
| 6.2 展望 | 第140-141页 |
| 参考文献 | 第141-155页 |
| 致谢 | 第155-157页 |
| 攻读博士学位期间的科研成果 | 第157-159页 |
| 攻读学位期间参与的项目 | 第159页 |
