| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题概述 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 文献综述 | 第11-19页 |
| 1.2.1 超精密运动的一般形式 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内外扭轮摩擦传动研究现状 | 第12-19页 |
| 1.3 本文的主要研究工作和安排 | 第19-20页 |
| 第二章 基于空气静压导轨的扭轮摩擦传动机构的设计 | 第20-40页 |
| 2.1 空气静压导轨的设计 | 第20-29页 |
| 2.1.1 空气静压导轨的介绍 | 第20-23页 |
| 2.1.2 空气静压导轨的气垫结构和常见的节流类型 | 第23-27页 |
| 2.1.3 气垫承载力的计算 | 第27-29页 |
| 2.2 扭轮摩擦传动结构的设计 | 第29-38页 |
| 2.2.1 结构设计 | 第30-36页 |
| 2.2.2 强度要求 | 第36-38页 |
| 2.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 扭轮摩擦传动的力学分析 | 第40-54页 |
| 3.1 摩擦传动 | 第40-41页 |
| 3.1.1 打滑与微观滑移 | 第40-41页 |
| 3.1.2 预位移 | 第41页 |
| 3.2 扭轮摩擦传动的力学分析 | 第41-49页 |
| 3.2.1 扭轮摩擦传动动力学分析 | 第41-43页 |
| 3.2.2 扭轮的运动学分析 | 第43-44页 |
| 3.2.3 纯滚动时扭轮的动力学讨论 | 第44-47页 |
| 3.2.4 相关问题分析 | 第47-49页 |
| 3.3 扭轮摩擦传动系统运动参数的计算 | 第49-52页 |
| 3.3.1 工作台的加速度 | 第49-50页 |
| 3.3.2 电机的扭矩选择 | 第50页 |
| 3.3.3 扭轮摩擦传动的运动参数计算 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 系统的分辨率和精度 | 第54-64页 |
| 4.1 机构的精度 | 第54-59页 |
| 4.1.1 进给机构位置伺服系统的精度 | 第54页 |
| 4.1.2 简化模型的进给机构位置伺服系统的精度分析 | 第54-56页 |
| 4.1.3 各种非线性环节的影响 | 第56-59页 |
| 4.2 刚度对系统精度的影响 | 第59-61页 |
| 4.2.1 刚度和变形的关系 | 第60页 |
| 4.2.2 刚度对机构控制性能的影响 | 第60-61页 |
| 4.3 高精度定位的必要条件 | 第61-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 扭轮摩擦机构的动力学仿真及性能测试 | 第64-80页 |
| 5.1 扭轮摩擦传动机构的建模与仿真 | 第64-76页 |
| 5.1.1 三维模型的建立 | 第64页 |
| 5.1.2 虚拟样机技术 | 第64-66页 |
| 5.1.3 扭轮摩擦传动机构的动力学仿真 | 第66-76页 |
| 5.2 扭轮摩擦传动机构的性能测试 | 第76-78页 |
| 5.2.1 运动分辨率的检测 | 第76-78页 |
| 5.3 本章小结 | 第78-80页 |
| 第六章 结论与展望 | 第80-82页 |
| 6.1 全文总结 | 第80-81页 |
| 6.2 展望 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 附录A 读研期间发表的论文 | 第88页 |