单片集成电容式三轴加速度计的设计与仿真
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第8-14页 |
| 1.2.1 单轴电容式加速度计 | 第9-10页 |
| 1.2.2 三轴电容式加速度计 | 第10-14页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 电容式加速度计的原理分析 | 第15-26页 |
| 2.1 电容器的基本工作原理 | 第15-22页 |
| 2.1.1 引言 | 第15页 |
| 2.1.2 平行板电容器的工作原理 | 第15-17页 |
| 2.1.3 平板梳齿式电容器的工作原理 | 第17-22页 |
| 2.2 单轴加速度传感器的数学模型推导 | 第22-23页 |
| 2.3 加速度计的阻尼分析 | 第23-25页 |
| 2.3.1 库爱特流阻尼 | 第23-24页 |
| 2.3.2 压膜阻尼 | 第24页 |
| 2.3.3 粘性阻尼 | 第24页 |
| 2.3.4 阻尼比因子ξ | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 三轴电容式加速度计的结构设计 | 第26-45页 |
| 3.1 三轴加速度计的参数分析 | 第26-29页 |
| 3.2 三轴加速度计的整体设计方案 | 第29-38页 |
| 3.2.1 材料选取 | 第29页 |
| 3.2.2 选择工作原理 | 第29页 |
| 3.2.3 选择多轴集成模式 | 第29页 |
| 3.2.4 选择测量模式 | 第29-30页 |
| 3.2.5 建立整体架构模型 | 第30-32页 |
| 3.2.6 弹性梁的确定 | 第32-38页 |
| 3.3 三轴加速度计的具体结构参数 | 第38-43页 |
| 3.4 确定加工工艺 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 三轴加速度计的计算机模拟仿真 | 第45-57页 |
| 4.1 有限元分析基础 | 第45-46页 |
| 4.1.1 物理模型离散化（划分网格） | 第45页 |
| 4.1.2 定义单元属性 | 第45-46页 |
| 4.1.3 计算等效节点力 | 第46页 |
| 4.1.4 组装单元 | 第46页 |
| 4.2 ANSYS结构静力学仿真分析 | 第46-52页 |
| 4.2.1 微位移分析 | 第47-49页 |
| 4.2.2 最大应变分析 | 第49-50页 |
| 4.2.3 抗过载分析 | 第50-52页 |
| 4.3 ANSYS结构动力学仿真 | 第52-56页 |
| 4.3.1 模态仿真 | 第52-54页 |
| 4.3.2 谐响应仿真 | 第54-56页 |
| 4.4 三轴加速度计参数汇总 | 第56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 个人简历 | 第64页 |
