| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文的研究内容及目的 | 第14-15页 |
| 1.4 本文的组织结构 | 第15-16页 |
| 第2章 基于双光子聚合飞秒加工系统的设计 | 第16-34页 |
| 2.1 飞秒加工光学系统的设计 | 第16-23页 |
| 2.1.1 Ti：蓝宝石飞秒激光器 | 第17-19页 |
| 2.1.2 X-Y 振镜系统 | 第19-21页 |
| 2.1.3 快门 | 第21-22页 |
| 2.1.4 大数值孔径 NA | 第22-23页 |
| 2.2 五轴微纳加工平台的总体设计与工作原理 | 第23-30页 |
| 2.2.1 五轴微纳加工平台的总体设计 | 第23-25页 |
| 2.2.2 微纳加工平台的组成与工作原理 | 第25-26页 |
| 2.2.3 直线运动轴 | 第26-28页 |
| 2.2.4 摆动运动轴 | 第28-30页 |
| 2.3 隔振分析 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 基于双光子聚合飞秒加工光学系统的分析 | 第34-48页 |
| 3.1 光路分析 | 第34-38页 |
| 3.1.1 入射光垂直振镜转轴 | 第34-35页 |
| 3.1.2 入射光与振镜转轴成一定角度 | 第35-36页 |
| 3.1.3 激光扫描角度分析 | 第36-38页 |
| 3.2 激光折射角计算分析 | 第38-43页 |
| 3.2.1 激光实际折射角 | 第39-40页 |
| 3.2.2 激光折射角各个影响因子分析 | 第40-43页 |
| 3.3 振镜误差分析 | 第43-46页 |
| 3.3.1 非线性误差 | 第43页 |
| 3.3.2 离焦误差 | 第43-44页 |
| 3.3.3 枕形误差和桶形误差 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 五轴飞秒加工平台的误差建模与分析 | 第48-68页 |
| 4.1 多体建模理论 | 第48-55页 |
| 4.1.1 多体系统的拓扑结构及其描述 | 第49-50页 |
| 4.1.2 多体系统间存在的理想运动关系 | 第50-52页 |
| 4.1.3 多体系统间存在的实际运动关系 | 第52-53页 |
| 4.1.4 机床综合误差模型 | 第53-55页 |
| 4.2 基于多体建模技术的五轴飞秒加工平台的误差建模 | 第55-62页 |
| 4.2.1 建模流程 | 第55页 |
| 4.2.2 五轴平台建模及其多体描述 | 第55-62页 |
| 4.3 飞秒加工装置的误差分析 | 第62-67页 |
| 4.3.1 垂直度误差分析 | 第62-63页 |
| 4.3.2 各个运动轴误差分析 | 第63-65页 |
| 4.3.3 联动分析 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 全文总结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74页 |