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基于负磁晶各向异性CoIr软磁薄膜ECC介质的磁性研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 研究背景第10-11页
    1.2 垂直磁记录的研究现状第11-14页
        1.2.1 FePt硬磁材料第12页
        1.2.2 热辅助磁记录(HAMR)第12页
        1.2.3 微波辅助磁记录(MAMR)第12-13页
        1.2.4 图案矩阵磁记录(PAMR)第13页
        1.2.5 交换耦合复合介质(ECCmedia)第13-14页
    1.3 交换耦合复合介质(ECCmedia)第14-18页
        1.3.1 交换弹性介质理论模型(ESmedia)第14-15页
        1.3.2 交换耦合复合介质理论模型(ECCmedia)第15-18页
        1.3.3 理论与实验进行对比第18页
    1.4 材料的选取第18-19页
    1.5 本论文的研究内容和意义第19-21页
    参考文献第21-24页
第二章 薄膜的制备和表征方法第24-32页
    2.1 样品的制备第24-26页
        2.1.1 磁控溅射装置第24-25页
        2.1.2 样品制备过程第25-26页
    2.2 样品的表征第26-31页
        2.2.1 样品厚度表征第26-27页
        2.2.2 样品成分表征第27页
        2.2.3 样品微观结构表征第27-29页
        2.2.4 VSM表征样品磁性第29页
        2.2.5 样品截面结构表征第29页
        2.2.6 磁光克尔表征样品磁性第29-31页
    参考文献第31-32页
第三章 薄膜衬底层的选取及优化第32-45页
    3.1 衬底层选取第32-33页
    3.2 工艺优化第33-41页
        3.2.1 测定生长速率第33-34页
        3.2.2 优化衬底层溅射条件第34-35页
        3.2.3 优化硬磁层溅射条件第35-38页
        3.2.4 重新优化Ru衬底层第38-41页
    3.3 硬磁层Pt成分的确定第41页
    3.4 硬磁层CoPt样品的表征第41-42页
    3.5 小结第42-44页
    参考文献第44-45页
第四章 CoIr软磁层对硬磁层磁性的调控第45-58页
    4.1 CoPt/CoIr复合介质的制备第45-46页
    4.2 CoPt/CoIr复合介质的微观形貌及结构第46-47页
    4.3 CoPt/CoIr复合介质的静态磁性表征第47-50页
    4.4 CoPt/CoIr复合介质的理论计算第50-53页
    4.5 CoPt/CoIr复合介质的热稳定性第53-54页
    4.6 小结第54-56页
    参考文献第56-58页
第五章 中间层Pt对硬磁层和软磁层耦合强度的调节第58-68页
    5.1 样品的制备第58-59页
    5.2 CoPt/Pt/CoIr复合样品的微观结构第59-60页
    5.3 CoPt/Pt(tnm)/CoIr(6nm)复合介质的晶体结构和静态磁性第60-61页
    5.4 CoPt/Pt(tnm)/CoIr(3nm)复合介质的晶体结构和静态磁性第61-62页
    5.5 CoPt/Pt(tnm)/CoIr(4nm)复合介质的晶体结构和静态磁性第62-64页
    5.6 比较三组不同CoIr厚度的复合介质的磁性质第64页
    5.7 CoPt/Pt/CoIr复合介质的热稳定性第64-65页
    5.8 小结第65-67页
    参考文献第67-68页
第六章 结论和展望第68-69页
    6.1 结论第68页
    6.2 展望第68-69页
在学期间的研究成果第69-70页
致谢第70页

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