| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 论文选题背景 | 第9-11页 |
| 1.2 单点金刚石划擦研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 课题研究目的与重要意义 | 第14-15页 |
| 1.4 课题来源与主要研究内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第15-17页 |
| 2 亚微米曲率半径单点金刚石针尖制造 | 第17-27页 |
| 2.1 亚微米曲率半径金刚石针尖原材料的选取 | 第17-18页 |
| 2.1.1 针尖原材料的选取 | 第17页 |
| 2.1.2 针尖杆体原材料的选取 | 第17-18页 |
| 2.2 微米曲率半径金刚石针尖制造方案及实施过程 | 第18-21页 |
| 2.2.1 单颗粒金刚石高频焊接 | 第18-19页 |
| 2.2.2 单点金刚石针尖磨削 | 第19-21页 |
| 2.3 微米曲率半径金刚石针尖表征 | 第21-26页 |
| 2.3.1 金刚石针尖整体形貌表征 | 第22-24页 |
| 2.3.2 金刚石针尖曲率半径及顶端夹角表征 | 第24-26页 |
| 2.4 小结 | 第26-27页 |
| 3 亚微米曲率半径单点金刚石纳米深度高速划擦实验 | 第27-51页 |
| 3.1 单点金刚石纳米深度高速划擦实验方案 | 第27-30页 |
| 3.1.1 实验设备 | 第27-28页 |
| 3.1.2 金刚石针尖装夹 | 第28-29页 |
| 3.1.3 实验方案设计 | 第29页 |
| 3.1.4 硅片化学机械抛光 | 第29页 |
| 3.1.5 实验条件 | 第29-30页 |
| 3.1.6 实验实施 | 第30页 |
| 3.2 单点金刚石纳米深度高速划擦划痕表征 | 第30-49页 |
| 3.2.1 表征仪器及方法 | 第31-37页 |
| 3.2.2 实验结果 | 第37-49页 |
| 3.3 小结 | 第49-51页 |
| 4 亚微米曲率半径单点金刚石纳米深度高速划擦切削模型建立及新现象分析 | 第51-69页 |
| 4.1 划擦切削模型的建立 | 第51-56页 |
| 4.1.1 塑性变形区 | 第51-53页 |
| 4.1.2 切削力及切削应力 | 第53-54页 |
| 4.1.3 划痕横截面几何参数 | 第54-56页 |
| 4.2 计算结果及数据分析 | 第56-59页 |
| 4.2.1 计算结果 | 第56-57页 |
| 4.2.2 数据分析 | 第57-59页 |
| 4.3 亚微米曲率半径单点金刚石针尖纳米深度高速划擦新现象及机理分析 | 第59-67页 |
| 4.3.1 透射电子显微镜简介 | 第59-61页 |
| 4.3.2 透射电子显微镜样品制备 | 第61-63页 |
| 4.3.3 透射电子显微镜表征结果及分析 | 第63-67页 |
| 4.4 小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |