AZO靶材热压致密化过程研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-33页 |
| ·太阳能电池产业化发展 | 第12-14页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展 | 第12页 |
| ·AZO透明导电薄膜的性质与应用 | 第12-13页 |
| ·薄膜原材料的研究进展 | 第13-14页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第14-16页 |
| ·ZnO的结构 | 第14-16页 |
| ·ZnO的物理性质 | 第16页 |
| ·ZnO的掺杂 | 第16-19页 |
| ·ZnO的本征缺陷 | 第16-17页 |
| ·ZnO的非故意掺杂 | 第17页 |
| ·ZnO的施主掺杂 | 第17页 |
| ·ZnO的受主掺杂 | 第17页 |
| ·ZnO的共掺杂 | 第17-18页 |
| ·Al掺杂ZnO的基本性质与应用 | 第18-19页 |
| ·AZO溅射靶材制备技术 | 第19-27页 |
| ·溅射靶材的原料 | 第19-22页 |
| ·溅射靶材的致密化研究进展 | 第22-27页 |
| ·溅射靶材的基本性能要求 | 第27页 |
| ·AZO薄膜制备技术 | 第27-32页 |
| ·溅射的基本原理与方法 | 第27-29页 |
| ·薄膜性能的影响因素 | 第29-31页 |
| ·AZO薄膜研究工作的发展趋势和方向 | 第31-32页 |
| ·课题研究目的与意义 | 第32-33页 |
| 2 AZO溅射靶材的制备与性能表征方法 | 第33-42页 |
| ·AZO靶材的原料制备 | 第33-34页 |
| ·机械合金化原理 | 第33页 |
| ·机械合金化的影响因素 | 第33-34页 |
| ·机械合金化设备与工艺参数 | 第34页 |
| ·AZO溅射靶材的制备 | 第34-37页 |
| ·靶材的制备方法 | 第34-36页 |
| ·热压烧结实验设备 | 第36-37页 |
| ·热压烧结工艺参数 | 第37页 |
| ·靶材性能表征原理与方法 | 第37-42页 |
| ·成分分布 | 第37-38页 |
| ·晶体结构 | 第38页 |
| ·显微形貌 | 第38页 |
| ·体积密度 | 第38-39页 |
| ·孔径分布 | 第39-40页 |
| ·晶粒尺寸 | 第40-41页 |
| ·电阻率 | 第41-42页 |
| 3 AZO透明导电薄膜的制备与性能表征方法 | 第42-47页 |
| ·AZO透明导电薄膜的制备 | 第42-45页 |
| ·射频磁控溅射装置 | 第42页 |
| ·射频磁控溅射工艺参数 | 第42-43页 |
| ·射频磁控溅射操作流程 | 第43-44页 |
| ·射频磁控溅射制备AZO薄膜 | 第44-45页 |
| ·薄膜性能表征原理与方法 | 第45-47页 |
| ·沉积速率 | 第45页 |
| ·电阻率 | 第45-46页 |
| ·透光率 | 第46-47页 |
| 4 实验结果与分析 | 第47-93页 |
| ·原料粉的性能表征 | 第47-53页 |
| ·原料粉的物相结构 | 第47-51页 |
| ·原料粉的显微形貌 | 第51页 |
| ·原料粉的成分分布 | 第51-53页 |
| ·AZO靶材热压致密化过程 | 第53-72页 |
| ·AZO靶材的致密度 | 第53-56页 |
| ·AZO靶材的气孔演化 | 第56-68页 |
| ·AZO靶材的晶粒生长 | 第68-72页 |
| ·AZO靶材热压工艺优化 | 第72-82页 |
| ·改进热压工艺的靶材致密化过程 | 第72-78页 |
| ·改进前后工艺对比 | 第78-79页 |
| ·致密化过程综合分析 | 第79-81页 |
| ·高密度靶材的制备 | 第81-82页 |
| ·AZO热压靶材的成分与结构分析 | 第82-85页 |
| ·AZO靶材的成分分布 | 第82-84页 |
| ·AZO靶材的物相结构 | 第84-85页 |
| ·AZO热压靶材镀膜测试 | 第85-93页 |
| ·AZO靶材孔隙率对薄膜沉积速率的影响 | 第85页 |
| ·AZO靶材孔隙率对薄膜电阻率的影响 | 第85-87页 |
| ·AZO靶材孔隙率对薄膜透光率的影响 | 第87-89页 |
| ·AZO靶材孔径分布对薄膜性能的影响 | 第89页 |
| ·AZO薄膜显微形貌和结构分析 | 第89-91页 |
| ·AZO靶材的使用寿命 | 第91-93页 |
| 结论 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-102页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103页 |
