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轴快流CO2激光器13.56MHz射频电源模型仿真及设计研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-16页
    1.1 高功率轴快流CO_2激光器发展概况第9-10页
    1.2 轴快流CO_2激光器系统及激励技术介绍第10-14页
    1.3 本课题研究的目的及意义第14-15页
    1.4 本论文的主要内容第15-16页
2 轴快流CO_2激光器射频放电特性及射频电源总体设计第16-26页
    2.1 轴快流CO_2激光器射频放电特性第16-19页
    2.2 激光器射频电源设计要求第19-24页
    2.3 射频电源系统整体框架结构第24-25页
    2.4 本章小结第25-26页
3 射频电源功率放大级设计第26-46页
    3.1 CLASS E型射频功率MOSFET器件第26-28页
    3.2 CLASS E型射频功率放大器原理分析第28-33页
    3.3 射频功率放大器参数计算第33-37页
    3.4 射频电源放大级电路仿真分析第37-45页
    3.5 本章小结第45-46页
4 射频电源驱动级设计第46-55页
    4.1 射频电源驱动设计原则第46-47页
    4.2 驱动电路设计第47-51页
    4.3 驱动供电电源设计第51-52页
    4.4 驱动级电路整体设计图第52-54页
    4.5 本章小结第54-55页
5 方案实现及结果分析第55-66页
    5.1 射频电源板级设计考虑第55-56页
    5.2 射频电源元器件选择考虑第56-60页
    5.3 联调及结果分析第60-65页
    5.4 本章小结第65-66页
6 总结与展望第66-68页
致谢第68-69页
参考文献第69-73页
附录一 攻读硕士学位期间发表论文目录第73页

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