| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 高功率轴快流CO_2激光器发展概况 | 第9-10页 |
| 1.2 轴快流CO_2激光器系统及激励技术介绍 | 第10-14页 |
| 1.3 本课题研究的目的及意义 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第15-16页 |
| 2 轴快流CO_2激光器射频放电特性及射频电源总体设计 | 第16-26页 |
| 2.1 轴快流CO_2激光器射频放电特性 | 第16-19页 |
| 2.2 激光器射频电源设计要求 | 第19-24页 |
| 2.3 射频电源系统整体框架结构 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 射频电源功率放大级设计 | 第26-46页 |
| 3.1 CLASS E型射频功率MOSFET器件 | 第26-28页 |
| 3.2 CLASS E型射频功率放大器原理分析 | 第28-33页 |
| 3.3 射频功率放大器参数计算 | 第33-37页 |
| 3.4 射频电源放大级电路仿真分析 | 第37-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 射频电源驱动级设计 | 第46-55页 |
| 4.1 射频电源驱动设计原则 | 第46-47页 |
| 4.2 驱动电路设计 | 第47-51页 |
| 4.3 驱动供电电源设计 | 第51-52页 |
| 4.4 驱动级电路整体设计图 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 方案实现及结果分析 | 第55-66页 |
| 5.1 射频电源板级设计考虑 | 第55-56页 |
| 5.2 射频电源元器件选择考虑 | 第56-60页 |
| 5.3 联调及结果分析 | 第60-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录一 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第73页 |