硅微角振动陀螺振动灵敏度分析及结构优化方法
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 微机械陀螺仪国外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 微机械陀螺仪国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 硅微陀螺抗振性能补偿技术研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 角振动陀螺理论分析 | 第17-32页 |
| 2.1 硅微角振动陀螺的工作原理 | 第17-21页 |
| 2.1.1 静电驱动力矩 | 第18-19页 |
| 2.1.2 检测电容 | 第19-21页 |
| 2.2 角振动陀螺动力学分析 | 第21-24页 |
| 2.3 振动灵敏度理论分析 | 第24-31页 |
| 2.3.1 原理性误差 | 第24-26页 |
| 2.3.2 加工误差 | 第26-31页 |
| 2.4 小结 | 第31-32页 |
| 第三章 角振动陀螺振动误差分析方法与建模 | 第32-49页 |
| 3.1 振动误差分析方法 | 第32-33页 |
| 3.2 随机振动输入激励源分析 | 第33-36页 |
| 3.3 模型降阶与MEMSPLUS简介 | 第36-38页 |
| 3.4 敏感结构建模及仿真分析 | 第38-43页 |
| 3.4.1 模态分析 | 第39-41页 |
| 3.4.2 Rayleigh阻尼 | 第41页 |
| 3.4.3 静电调谐 | 第41-42页 |
| 3.4.4 静电吸合效应 | 第42-43页 |
| 3.5 驱动闭环系统建模及仿真分析 | 第43-48页 |
| 3.5.1 AGC分析 | 第44-46页 |
| 3.5.2 PLL分析 | 第46-48页 |
| 3.6 小结 | 第48-49页 |
| 第四章 振动灵敏度仿真分析及结构优化方法 | 第49-58页 |
| 4.1 结构对称 | 第49-50页 |
| 4.2 结构不对称 | 第50-53页 |
| 4.2.1 质心偏移 | 第51页 |
| 4.2.2 电容极板偏移 | 第51-52页 |
| 4.2.3 电容间距不等 | 第52-53页 |
| 4.2.4 小结 | 第53页 |
| 4.3 结构优化分析 | 第53-57页 |
| 4.3.1 优化设计 | 第54-56页 |
| 4.3.2 振动灵敏度分析 | 第56-57页 |
| 4.4 小结 | 第57-58页 |
| 第五章 角振动陀螺振动性能测试与分析 | 第58-64页 |
| 5.1 系统测试方法 | 第58-59页 |
| 5.2 随机振动测试结果 | 第59-61页 |
| 5.3 随机振动测试分析 | 第61-63页 |
| 5.4 小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的学术论文 | 第71-72页 |
