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大规模半导体生产中结构化精确维护系统的设计与开发

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-14页
     ·引言第9-10页
     ·国内外研究现状第10-12页
       ·故障维修(Corrective maintenance)第10页
       ·计划性维护(Planned Preventative Maintenance)第10-11页
       ·条件基础的预防性维护(Condition-Base Maintenance)第11-12页
     ·研究目标和意义第12页
     ·研究内容及论文结构第12-14页
第二章 结构化精确维护需求分析第14-29页
     ·工厂生产现状分析第14-17页
       ·极低的停机时间总量目标第16页
       ·设备间性能低差异化(CoV)目标第16页
       ·维护计划停机时间与非计划停机时间的比值目标第16-17页
     ·当前维护模式及缺陷分析第17-21页
       ·维护模式单一第17-18页
       ·维护管理系统落后第18-19页
       ·缺乏有效地维护活动过程管理第19-20页
       ·缺乏维护改进数据支持第20页
       ·缺乏有效地维护人员管理第20-21页
     ·基于多方面数据分析的决策机制第21-24页
       ·设备性能数据第21-22页
       ·设备故障处理及项目改进信息第22-23页
       ·生产相关信息第23页
       ·维护过程信息第23页
       ·维护人员信息第23-24页
     ·多模式维护体系第24-25页
       ·时间周期的计划性维护第24页
       ·事件周期的计划性维护第24页
       ·生产任务驱动的未来维护计划调整第24-25页
       ·条件基础的预防性维护第25页
     ·基于设备性能的动态维护活动清单第25页
     ·持续可优化的维护改进过程第25-26页
       ·维护清单内容改进第26页
       ·维护模式配置改进第26页
     ·完善的维护人员管理第26-29页
       ·维护过程基本要求第26-27页
       ·人员维护技能及培训管理第27页
       ·人员维护结果绩效管理第27-29页
第三章 系统设计第29-58页
     ·关联系统——生产应用报表系统介绍第29-31页
       ·系统框架第29-30页
       ·数据接口第30-31页
     ·系统架构设计第31-33页
     ·系统硬件设计第33-35页
     ·设备性能自动追踪系统第35-38页
       ·系统构架第35-37页
       ·数据接口第37-38页
     ·设备性能数据采集分析模块设计第38-39页
     ·维护计划安排模块设计第39-42页
       ·生产导向维护计划优化子系统第40-41页
       ·时间周期计划性维护安排子系统第41页
       ·事件周期计划性维护安排子系统第41页
       ·条件基础预防性维护安排子系统第41-42页
       ·具体维护活动内容清单生成系统第42页
     ·维护清单管理模块设计第42-46页
     ·维护执行过程管理模块设计第46-48页
     ·维护信息收集分析模块设计第48-50页
     ·改进建议与项目管理模块设计第50-51页
     ·维护人员管理模块设计第51-53页
     ·设备性能自动追踪系统数据库设计第53-58页
第四章 系统实现及测试第58-66页
     ·计划停机时间/非计划停机时间测试分析第59-60页
     ·平均维护耗时第60-62页
     ·变异系数第62-63页
     ·高负荷状态设备有效利用时间第63-64页
     ·维护人员平均认证时间第64-66页
第五章 总结第66-68页
     ·总结第66页
     ·展望第66-68页
致谢第68-69页
参考文献第69-71页

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