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常压CVD法制备均匀石墨烯薄膜的工艺优化及其在金属防护中的应用研究

摘要第3-5页
abstract第5-6页
第一章 绪论第9-25页
    1.1 石墨烯概述第9-21页
        1.1.1 石墨烯的发现及结构形态第9-10页
        1.1.2 石墨烯的性质第10-12页
        1.1.3 石墨烯的应用第12-15页
        1.1.4 石墨烯的制备方法第15-21页
    1.2 CVD法制备石墨烯薄膜概述第21页
    1.3 石墨烯薄膜在金属防护中的应用现状第21-23页
    1.4 本课题提出的意义及研究内容第23-25页
第二章 实验与表征第25-35页
    2.1 实验材料第25-26页
    2.2 实验仪器设备及用途第26-28页
        2.2.1 制备仪器及设备第26-27页
        2.2.2 分析仪器及设备第27-28页
    2.3 CVD石墨烯制备第28-29页
        2.3.1 铜箔的预处理第28页
        2.3.2 管式炉预备第28-29页
        2.3.3 生长阶段第29页
    2.4 CVD石墨烯薄膜旳转移第29-33页
        2.4.1 湿法转移法第29-31页
        2.4.2 石墨烯电解法转移第31-32页
        2.4.3 转移方法对比第32-33页
    2.5 石墨烯薄膜抗氧化性能试样制备及检测第33-34页
        2.5.1 石墨烯薄膜抗氧化性能试样制备第33-34页
        2.5.2 石墨烯薄膜抗氧化性能检测第34页
    2.6 本章小结第34-35页
第三章 石墨烯薄膜制备及转移工艺优化第35-53页
    3.1 生长阶段H2/Ar流量的影响第35-37页
    3.2 生长阶段C2H2流量的影响第37-39页
    3.3 生长时间的影响第39-40页
    3.4 生长温度的影响第40-41页
    3.5 气流分配管的设置对薄膜均匀度的影响第41-44页
    3.6 电解法转移工艺优化第44-48页
        3.6.1 旋涂时间及溶液摄入量对涂覆效果的影响第44-45页
        3.6.2 旋涂时间及涂层厚度对分离效果的影响第45-46页
        3.6.3 电解电压对分离效果的影响第46-47页
        3.6.4 电解液对分离效果的影响第47-48页
        3.6.5 电解液浓度对分离效果的影响第48页
    3.7 最佳工艺参数下样品的表征第48-51页
        3.7.1 最佳沉积工艺下铜基石墨烯薄膜表征第48-50页
        3.7.2 最佳工艺下石墨烯薄膜质量表征第50-51页
    3.8 本章小结第51-53页
第四章 石墨烯薄膜在金属防护中的应用第53-61页
    4.1 氧化前后表面形貌第53-57页
    4.2 氧化前后表面的物相组成第57-59页
    4.3 氧化速率第59-60页
    4.4 本章小结第60-61页
第五章 结论与展望第61-63页
    5.1 本课题主要结论第61-62页
    5.2 展望第62-63页
致谢第63-64页
参考文献第64-69页
攻读学位期间的研究成果第69页

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